同時，親水性和憎水性使用有不同由于離子發(fā)散的方向性，側(cè)壁側(cè)壁角的一致性難以控制。因此，用于硅刻蝕的電感耦合等離子體(ICP)高密度等離子體設(shè)備已逐漸應(yīng)用于氮化硅側(cè)壁刻蝕。由于ICP設(shè)備可以在低壓范圍內(nèi)工作，離子方向性好，散射小。同時，氣體在腔內(nèi)停留時間短，刻蝕均勻性好。而且在蝕刻過程中采用腔體預(yù)沉積功能，即在蝕刻每片晶圓前在腔體上沉積薄膜，蝕刻后去除腔壁上的薄膜。從而保證了晶圓蝕刻時腔體環(huán)境的一致性，大大提高了蝕刻過程的穩(wěn)定性。

微波源配備合適的匹配系統(tǒng)可以根據(jù)清洗腔體及產(chǎn)品等清洗條件的不同進行負載阻抗自動調(diào)節(jié)，親水性和疏水性一致使清洗效果及一致性達到最佳。微波頻率相對于射頻有兩個決定性優(yōu)勢，其一是離子濃度最高,在微波等離子里的反應(yīng)微粒數(shù)量要遠遠大于在射頻等離子里的反應(yīng)等離子數(shù)量，這會使反應(yīng)速度更快，反應(yīng)時間更短。其二，等離子的一個自然特性是可以在直接暴露于等離子的基材上生成一種自偏壓。

但如果噴出“火焰”，親水性和疏水性一致很容易在某一點長時間不動而燒毀表面。因此，常壓等離子體清洗機的溫度只能在實際工況下測量。大氣壓與真空等離子清洗機的差異然而，真空等離子清洗機并沒有那么復(fù)雜。根據(jù)電源的頻率，以40kHz和13.56MHz為例：正常情況下，材料放入腔體工作，頻率為40kHz，一般溫度在65以下。而且，該機配備了強勁的散熱風(fēng)扇。如果加工時間不長，材料表面溫度會與室溫一致。

對于形狀復(fù)雜的基底，親水性和疏水性一致如外表有效小溝槽或螺紋等，在復(fù)雜形狀附近的等離子體參數(shù)分布會有所差別，這將會導(dǎo)致其周圍電場的變化，進而改變這個區(qū)域的離子濃度和離子轟擊的能量。如果采用常規(guī)等離子處理機滲氮，則鞘層內(nèi)的離子碰撞會更加頻繁，就會導(dǎo)致離子的能量降(低)，因此也就難以激(活)氧化物較多的金屬表面，如不銹鋼等。這種復(fù)雜形狀基底情況還會導(dǎo)致區(qū)域溫度過熱，滲氮特性也會與其他基底不同。

親水性和疏水性一致

碳纖維作為優(yōu)良的復(fù)合材料增強劑，在其實際應(yīng)用過程中，為了修補缺陷，進一步提高性能，并滿足不同的使用需求，經(jīng)常會在碳纖維表面屠夫一層新的材料。涂層方法很多，包括PVD、CVD、電鍍、化學(xué)鍍和sol-gel等技術(shù)。

與物理反應(yīng)相比，化學(xué)變化的缺點難以克服。然而，兩種 PLASMA 裝置的反應(yīng)機制對表面的微觀形態(tài)有非常不同的影響。物理反應(yīng)可以在分子水平上使表面變粗糙，改變表面的粘合強度。另一種對表面反應(yīng)機理的物理和化學(xué)變化起重要作用的等離子清洗是等離子器件的反應(yīng)離子刻蝕或離子束刻蝕。兩者可以互相促進清潔。離子沖擊會破壞干凈的表面，削弱其化學(xué)鍵或形成容易吸收反應(yīng)物的原子狀態(tài)。離子的碰撞加熱待清潔的物體，使反應(yīng)更容易發(fā)生。

根據(jù)紙箱的不同種類，如直箱、底鎖箱、紙箱等，可配置不同數(shù)量的噴槍進行處理。等離子清洗機處理涂膜彩盒后的優(yōu)點；1.等離子清洗機表面處理后，材料的表面張力、箱體的結(jié)合強度和產(chǎn)品質(zhì)量得到提高2.等離子清洗機取代熱熔膠，使用冷粘膠或低檔普通膠。

可作為等離子設(shè)備的汽車零部件用PP塑料按功能大致可分為以下四類：1.增韌改性聚丙烯塑料由于增韌劑的加入，具有極高的沖擊強度和低溫韌性，專門適用于汽車前保險杠、側(cè)裙墻板、外部防擦條、輪罩墊等配件的生產(chǎn)；2.補充強化改性PP塑料，即無機補充、彈性體強化，具有模量高、剛性耐熱性好、寬度可靠性和穩(wěn)定性好等突出優(yōu)點，克服了一般PP塑料收縮率大、熱變形溫度低、機械耐久性差等缺點，廣泛應(yīng)用于汽車內(nèi)外飾件生產(chǎn)；3.補充改性聚丙烯塑料可進一步提高普通聚丙烯塑料的剛性、耐熱性和寬度可靠性穩(wěn)定性，具體適用于生產(chǎn)耐高溫?zé)o應(yīng)力結(jié)構(gòu)件，如汽車空調(diào)殼體、汽車空調(diào)軸流風(fēng)機、防風(fēng)圈等；4.增強玻璃纖維增強聚丙烯塑料是聚烯烴塑料中強度、剛度、耐熱性和寬度可靠性穩(wěn)定性最高的塑料，專門適用于生產(chǎn)發(fā)動機吸氣系統(tǒng)、發(fā)動機冷卻風(fēng)扇架、發(fā)動機吸氣系統(tǒng)濾清器等高強度、高耐熱性產(chǎn)品。

親水性和疏水性一致

電子對材料外表面的作用。材料外表面一方面受撞擊作用，親水性和疏水性一致會促使吸附在材料外表面的氣體分子被分解或吸附，另一方面大量的電子碰撞則有助于化學(xué)反應(yīng)。因為電子的質(zhì)量很小，所以比離子運動得更快。用等離子體處理時，電子到達材料外部表面層的時間早于表面層，并使表面層帶負電荷，這有助于更進一步引起反應(yīng)。小編從微觀上講解了等離子體與材料外表面相互作用。。

熱等離子體裝置利用帶電物體的尖端（如刀形或針形尖端和狹縫電極）產(chǎn)生稱為電暈放電的非均勻電場，親水性和憎水性使用有不同利用電壓和頻率、電極間距和處理. 控制電暈處理效果的溫度和時間會受到影響。電源電壓和頻率越高，加工強度越高，加工效果越好。但是，如果電源頻率過高或電極間隙過寬，則電極之間的離子碰撞次數(shù)過多，會產(chǎn)生不必要的能量損失。如果電極間隙過小，則會出現(xiàn)感應(yīng)損耗和能量損耗。