電暈電暈狀態(tài)下的電子和原子脫離原子約束，電暈表面處理裝置選哪家中性原子、分子結(jié)構(gòu)和離子無序運動，能量很高，但整體是中性的。高真空泵房內(nèi)混合氣體的分子結(jié)構(gòu)被電磁能強化，加速后的電子相互碰撞，使原子和分子結(jié)構(gòu)的外層電子偏離軌道，產(chǎn)生離子或高活性氧自由基。

由表3-3可知，好用的春日電暈表面處理裝置C2H6和CO2的轉(zhuǎn)化率分別為33.8%和22.7%，C2H4和C2H2的總收率為12.7%。負載型稀土氧化物催化劑(La2O3/Y-Al2O3和CeO2/Y-Al2O3)引入反應體系后，C2H6的轉(zhuǎn)化率、C2H4的選擇性和產(chǎn)率、C2H2的選擇性和產(chǎn)率均有所提高，而CO2的轉(zhuǎn)化率略有下降。

與激光燒蝕相比，好用的春日電暈表面處理裝置電暈改性的效果更好。電暈聚合涂覆技術(shù)通過電效應將聚合的有機氣體電暈化，這些活性粒子發(fā)生加成反應，在木材表面形成聚合膜，從而實現(xiàn)防潮、防火、防霉等功能特性。電暈轟擊木材表面，發(fā)生刻蝕，形成微觀&ldquo；溝壑&rdquo；增加木材表面粗糙度，創(chuàng)造液體輸送通道，提高液體的潤濕性和滲透性，同時在涂膠時形成膠釘效應，提高涂膠性能。

從機理上看：電暈在清洗中通過工作氣體在電磁場的作用下激發(fā)電暈與物體表面發(fā)生物理反應和化學反應。其中，電暈表面處理裝置選哪家物理反應機理是活性粒子轟擊待清洗表面，使污染物從表面分離，最后通過真空泵吸走；其化學反應機理是各種活性顆粒與污染物反應生成揮發(fā)性物質(zhì)，再通過真空泵將揮發(fā)性物質(zhì)吸走，從而達到清洗的目的。我們的工作氣體常用氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氬氣(Ar)、甲烷(CF4)等。

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正因如此，氬電暈被廣泛應用于半導體、微電子、晶圓制造等職業(yè)。真空電暈中氬離子化產(chǎn)生的電暈呈暗紅色。在相同放電環(huán)境下，氫氣和氮氣產(chǎn)生的電暈顏色均為紅色，但氬電暈的亮度低于氮氣，高于氫氣，仍是很好的差異。1外部清洗在去除晶圓、玻璃等產(chǎn)品的外部顆粒的過程中，一般選用用Ar電暈轟擊外部顆粒，達到顆粒破碎疏松（與基體外部分離）的效果，再用超聲清洗或離心清洗去除外部顆粒。

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