Ar+e-→Ar++2e-,噴漆和噴塑附著力0級(jí)Ar++沾污→揮發(fā)性沾污氬氣等離子清洗原理在非反應(yīng)氣體中,氬氣和氦氣是常用的清洗氣體,其具有優(yōu)良的物理性質(zhì),如擊穿電壓低并且等離子與其他氣體相比相當(dāng)穩(wěn)定,氬原子的電離能為15.75eV,氬等離子中含有大量的亞穩(wěn)態(tài)的氬原子,在物理反應(yīng)清洗中很具優(yōu)勢(shì)。在清洗過(guò)程中還可以充入兩種或以上的混合氣體以得到更好的清洗效果。
AMAT的臺(tái)面甚至日立的8190XT通過(guò)同步脈沖實(shí)現(xiàn)了低電子衰落。同步脈沖是指源功率和底電極偏置功率的同步開(kāi)關(guān)。關(guān)閉時(shí),噴漆和噴粉哪個(gè)附著力更好等離子體清潔器等離子體中的電子大大減少,等離子體由電子-離子型轉(zhuǎn)變?yōu)殡x子-離子型。同時(shí),由于底部電極表面鞘層的消失,使得更好地控制等離子體中的正負(fù)分離成為可能。RLSA通過(guò)空間擴(kuò)散實(shí)現(xiàn)離子-離子等離子體,MESA/8190XT通過(guò)時(shí)間(等離子體切換)實(shí)現(xiàn)離子-離子等離子體。
離子化學(xué)清洗速度快,噴漆和噴塑附著力0級(jí)選擇性好,對(duì)有機(jī)污染物有良好的清洗效果。等離子體表面活化機(jī)表面反應(yīng)以物理作用為主,常用氬氣,不產(chǎn)生氧化副產(chǎn)物,腐蝕各向異性。在等離子表面活化機(jī)的表面改性過(guò)程中,化學(xué)反應(yīng)與物理作用相結(jié)合,使其具有更好的選擇性、一致性和方向性。 由于工業(yè)領(lǐng)域精密化、微小化的發(fā)展方向,等離子表面活化機(jī)技術(shù)以其精細(xì)清潔、無(wú)損改性的優(yōu)勢(shì)在半導(dǎo)體行業(yè)、芯片產(chǎn)業(yè)、航空航天等高新技術(shù)行業(yè)也會(huì)有越來(lái)越重要的應(yīng)用價(jià)值。
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噴漆和噴塑附著力0級(jí)
1.氣瓶減壓閥 氣瓶減壓閥 是將氣瓶中的高壓氣體減壓為低壓氣體的裝置。等離子清洗機(jī)中使用的大部分工藝氣體是瓶裝氣體。為保證各氣路部件的工藝穩(wěn)定性和工作穩(wěn)定性,高壓氣體通常采用氣瓶減壓器。 2、氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥 氣壓調(diào)節(jié)閥是空氣壓力控制的重要裝置,具有將外部壓縮氣體控制在所需工作壓力和穩(wěn)定壓力和流量的作用。
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因此等離子體發(fā)生器的殺菌效果遠(yuǎn)高于負(fù)離子發(fā)生器。2,等離子發(fā)生器產(chǎn)生大量的負(fù)離子和積極的離子在同一時(shí)間,因?yàn)樨?fù)離子的數(shù)量遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于積極的離子的數(shù)量,所以積極的離子將由負(fù)離子中和后生成,因此不能大量的空氣中正離子。正離子和負(fù)離子本身是空氣組件的一部分,所以適量的正離子對(duì)人體沒(méi)有副作用,所以等離子發(fā)生器的空氣凈化殺菌同時(shí)允許在人類空間,不用于人體。
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