大氣壓微波等離子體清洗源微波放電不需要電極，鋼絲層與簾布層附著力比較是將微波能量轉(zhuǎn)化為放電氣體的內(nèi)能，將其激發(fā)和電離而產(chǎn)生等離子體的一種氣體放電形式。微波放電可以在較寬的氣體壓力范圍內(nèi)工作，一般放電頻率為2．45GHz。微波放電可以產(chǎn)生較大體積的非平衡等離子體，而且所產(chǎn)生的等離子體比較穩(wěn)定，密度比較高；同時微波放電為無電極放電，可以防止電極材料對清洗過程的影響。

例如，鋼絲層與簾布層附著力比較氧等離子體的相對密度與電離功率密切相關(guān);(d)接觸時間:待清洗材料在等離子體中的接觸時間對材料的表面清洗效率和等離子體的工作效率有重要的干擾。接觸時間長，清洗效果比較好，但工作效率低。(e)傳輸速率:相對于大氣等離子體清洗過程，在清洗大型物體時涉及到連續(xù)傳輸問題。因此，待清洗物體與電極的相對運動越慢，清洗效果越好。然而,太慢會影響工作效率,另一方面和另一方面導致材料表面損傷,從而延長清洗時間。

和物理反應相比較，鋼絲層與簾布層附著力比較化學反應的缺點不易克服。并且兩種反應機制對表面微觀形貌造成的影響有顯著不同，物理反應能夠使表面在分子級范圍內(nèi)變得更加“粗糙”，從而改變表面的粘接特性。

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(2)工作氣體的類型也影響等離子體的清潔類型例如:Ar2、N2等行成的等離子體常見應用物理清洗，產(chǎn)品表面經(jīng)過轟擊清洗；反應性氣體O2、H2等行成的等離子體常見應用化學清洗，活性自由基與污染物(大多數(shù)是碳氫化合物)發(fā)生化學反應，行成一氧化碳、二氧化碳、水等小分子，從產(chǎn)品表面去除。

等離子體清洗是指高度活化的等離子體在電場的作用下發(fā)生定向移動，與孔壁的鉆污發(fā)生氣固化學反應，同時生成的氣體產(chǎn)物和部分未發(fā)生反應的粒子被抽氣泵排出。

由于等離子體的方向性差，它可以深入到物體的孔隙和凹陷處，完成清潔任務，而不需要過多考慮被清潔物體的形狀。而這些難清洗部件的清洗效果類似甚至優(yōu)于氟利昂清洗;新型等離子表面處理器十大優(yōu)點之一:使用等離子表面處理器，可以在清洗功率上取得很大進步。

在低溫等離子體中，重粒子的溫度只有室溫，而電子溫度可以達到成千上萬度，因此遠離熱力學平衡狀態(tài)，例如輝光放電屬于低溫等離子體。冷等離子主要用于等離子蝕刻、沉積和等離子表面裝飾。電洗滌溫度是許多用戶關(guān)心的問題，電洗滌時，電洗滌火焰看起來也和一般的火焰差不多，而電洗滌設(shè)備如采用中頻電源，功率大，能量猛，不加水冷溫度也很高，若洗滌材料不耐溫，則需注意溫度。

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