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下面我們來討論一下半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域真空表面等離子體處理設(shè)備的工作原理。

等離子體是一種由離子、電子和中性粒子組成的中性物質(zhì)。在等離子體表面處理機(jī)中，等離子體與材料界面的碰撞會將其能量轉(zhuǎn)移到材料的分子和原子界面上，從而產(chǎn)生一系列的物理和化學(xué)反應(yīng)。還可以通過向材料接觸面內(nèi)注入粒子或氣體來改變材料接觸面的性質(zhì)，從而引起碰撞、散射、激發(fā)、重排、異構(gòu)化和結(jié)晶。1)等離子體表面處理儀器與材料接觸面的刻蝕活性分子和自由基在等離子體界面起物理作用，去除主要污染物和雜質(zhì)。

當(dāng)碰撞能量較高時，分子中圍繞原子核運(yùn)行的低能電子被激發(fā)，在碰撞中獲得足夠的能量，并在遠(yuǎn)離原子核的高能軌道上運(yùn)動。等離子清潔器中處于高能態(tài)的分子稱為激發(fā)分子，用 XY * 表示。當(dāng)受激分子中的電子從高能級返回到低能級時，它們會以發(fā)光的形式釋放出多余的能量。由于光的頻率不同，人們會看到不同的顏色。如果碰撞電子的能量足夠高，電子吸收的能量可以將其從原子核的鍵中釋放出來，成為自由電子。即，分子被電離。

等離子清洗機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面等離子清洗機(jī)也叫等離子清潔機(jī)，是一種全新的高科技技術(shù)，利用活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而達(dá)到清潔、涂覆等目的，在多個領(lǐng)域中都有一定的應(yīng)用。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。

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