另外兩種常用的氣體是氬氣和氦氣,氬氣等離子體清潔它們的優(yōu)點(diǎn)是擊穿電壓低,等離子體穩(wěn)定。其中,氬原子的電離能ε為15.75EV,氬等離子體中含有大量半穩(wěn)態(tài)原子。理想的物理反應(yīng)氣體。在實(shí)際清洗中,單獨(dú)使用物理或化學(xué)效果不好,是充入一種混合氣體,同時(shí)使用兩種或多種混合氣體可以獲得更好的清洗效果。例如,在氬和氧的組合中,氬離子使用物理沖擊來清潔表面。
真空泵的輸送系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和其他部分通常使用旋轉(zhuǎn)油泵,氬氣等離子體清潔機(jī)器高頻電源通常使用 13.56 MHz 無線電波。該設(shè)備的操作過程如下。 (1) 固定清潔后的真空室,啟動(dòng)操作裝置,開始排氣。真空室的真空度達(dá)到10Pa的標(biāo)準(zhǔn)真空度。正常排氣時(shí)間大約需要 2 分鐘。 (2) 將清洗氣體引入真空室,壓力保持在 Pa。可根據(jù)清洗劑選擇氧氣、氫氣、氬氣或氮?dú)狻?/p>
通過三種方法(機(jī)械粗化法、氧、氮、氬氣低溫等離子表面改性和中間層法)對(duì)聚丙烯進(jìn)行處理,氬氣等離子體清潔并考察了金屬聚合物對(duì)聚合物的粘合性能,結(jié)果為表面處理可以有效提高聚丙烯與銅的附著力,但等離子處理的效果更好,尤其是AR等離子,在聚丙烯聚合過程中,中間層是C-0鍵。包括強(qiáng)附著力。
等離子清洗設(shè)備中的非反應(yīng)性氣體,氬氣等離子體清潔機(jī)器如氬氣、氦氣、氮?dú)?。氮處理可以提高硬度和耐磨性。氬氦性質(zhì)穩(wěn)定,分子充放電工作電壓低,易產(chǎn)生亞穩(wěn)態(tài)分子。當(dāng)AR氣體與污染物碰撞時(shí),會(huì)產(chǎn)生揮發(fā)性化學(xué)物質(zhì)并由真空泵排出,以防止表面化學(xué)物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。氬氣往往是一種亞穩(wěn)態(tài)分子,當(dāng)它與氧原子碰撞時(shí),會(huì)發(fā)生正電荷轉(zhuǎn)換和復(fù)合。純氫在等離子等離子設(shè)備中非常有效,但考慮到充放電的可靠性和安全性,氬氫化合物也可以用于等離子清洗機(jī)。
氬氣等離子體清潔
氣體輝光放電是與氣體電暈放電和電弧放電相關(guān)的放電狀態(tài)。它在真空中通過兩個(gè)電極(定量氣體)。常用的氣體是氬氣和氧氣的混合物。當(dāng)施加的直流電壓超過初始值時(shí),會(huì)發(fā)生放電電壓和輝光放電。在氣體輝光放電中,從陰極發(fā)射的電子經(jīng)過電場(chǎng),加速獲得能量,與氣體分子碰撞,激發(fā)氣體分子在等離子體區(qū)(等離子體區(qū))產(chǎn)生大量的陽離子。喉部的濃度等于陽離子濃度,這些陽離子在電場(chǎng)的作用下被加速向陰極移動(dòng),撞擊靶材表面和薄膜。
常用案例有三種·防水涂層—環(huán)己烷·類似PTFE材料的涂層---含氟處理氣體·親水涂層---醋酸乙烯等離子表面處理的效果簡(jiǎn)直就是用水,我們確認(rèn)處理過的樣品表面完全被水潤濕。長時(shí)間的等離子處理(15 分鐘或更長時(shí)間)不僅會(huì)激活材料表面,還會(huì)對(duì)其進(jìn)行蝕刻,蝕刻后的表面可提供最大的潤濕性。常用的處理氣體包括空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體和CF4。
在一些等離子清洗中,物理和化學(xué)反應(yīng)都在表面反應(yīng)機(jī)理、反應(yīng)性離子腐蝕中起重要作用。腐蝕或反應(yīng)離子束腐蝕,兩次清洗相互促進(jìn),離子撞擊損壞被清洗物體表面,削弱化學(xué)鍵或形成原子態(tài),易吸收反應(yīng)物,離子碰撞加熱和反應(yīng)被清洗物體;效果不不僅選擇性、洗滌速度、均勻性更好,而且方向性更好。典型的等離子物理清洗工藝是氬等離子清洗。氬氣本身是惰性氣體,等離子氬氣不與表面反應(yīng),但會(huì)通過離子沖擊清潔表面。
基于以上影響和客戶的要求,我們將根據(jù)客戶的需求做出響應(yīng)。系統(tǒng)服務(wù)響應(yīng)客戶需求,實(shí)現(xiàn)更好的服務(wù)效益,解決客戶的后顧之憂!我正在使用等離子清潔器。使用氬氣是否有害?您可以從大氣壓等離子體的三種效果模式中進(jìn)行選擇。一種是使用氬氣/氧氣組合,主要用于非金屬材料,對(duì)處理效果要求較高。第二種是主要在待處理產(chǎn)品的不可處理金屬區(qū)域使用氬/氮組合。由于氧氣的強(qiáng)氧化作用,控制了用這種方案代替氮?dú)夂罂赡軙?huì)出現(xiàn)這個(gè)問題。
氬氣等離子體清潔設(shè)備
二是采用氬氣/氮?dú)饨M合,氬氣等離子體清潔機(jī)器主要用于金線、銅線等各種金屬材料。氧氣的氧化使該方案在交換氮?dú)夂笥行У乜刂屏诉@個(gè)問題。第三,如果只用氬氣,也可以只用氬氣進(jìn)行表面改性,效果相對(duì)較弱。這是一種特殊情況,是少數(shù)工業(yè)客戶在需要有限且均勻的表面改性時(shí)使用的解決方案。 2. 安全易用。大氣壓等離子體也是低溫等離子體,不會(huì)損傷材料表面。例如,它可以處理對(duì)反面電阻敏感的 ITOFILM 材料。
等離子體清潔原理