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物理反應(yīng)機理是活性粒子轟擊被清理表面，fpc軟板等離子體清洗使污染物從表面被清除，最后被真空泵吸走?；瘜W(xué)反應(yīng)的機理是各種活性顆粒與污染物反應(yīng)形成揮發(fā)性物質(zhì)，再由真空泵除去?；谏矸磻?yīng)的等離子體清洗,也稱為濺射腐蝕(SPE)或離子銑(IM),其優(yōu)點是沒有化學(xué)反應(yīng)本身,清潔表面不會留下任何氧化,可以維護清潔的化學(xué)純度,腐蝕各向異性;缺點是表面造成極大的破壞,產(chǎn)生很大的熱效應(yīng)，對清洗表面各種不同物質(zhì)的選擇性差，腐蝕速度慢。

在紡織纖維領(lǐng)域，fpc軟板等離子體清洗設(shè)備主要用于做好無紡布基材的表面處理，使無紡布有效的印花、粘合等效果。整體來看，現(xiàn)階段中國等離子洗滌設(shè)備發(fā)展迅速，整個行業(yè)的發(fā)展相對穩(wěn)定，該領(lǐng)域的總價值保持了持續(xù)上升的趨勢。而在一些領(lǐng)域，國產(chǎn)等離子清洗機正在逐步取代進口產(chǎn)品，雖然國外市場的產(chǎn)值高于國內(nèi)市場，但國內(nèi)市場有著巨大的快速發(fā)展空間，應(yīng)用前景廣闊。

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由式(3-40)和式(3-41)可知，CO2的分解速率與等離子體催化體系中CO2、CO、O-、O的濃度有關(guān)。0和O-被與H反應(yīng)消耗，H由C2H6分解反應(yīng)生成。因此，C02的轉(zhuǎn)化率隨著C2H6濃度的增加而增加。

等離子體處理后的TP模塊具有以下優(yōu)點:等離子火焰機表面活性增強，外殼粘結(jié)更牢固，避免脫膠;2 .熱熔膠均勻膨脹，形成連續(xù)的表面，TP與殼體無縫隙;由于表面能的增加，熱熔膠在不降低附著力的情況下可膨脹變薄，可降低涂敷星和成本(可節(jié)省膠量約1/3)。此外，與同類設(shè)備相比，等離子火焰機在加工工藝上具有更明顯的優(yōu)勢。首先，等離子火焰機寬度小，最小只有2mm，不影響其他不需要處理的區(qū)域，減少其次，溫度較低。

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五金行業(yè):對各種金屬鋼材進行噴涂前處理，fpc軟板等離子體清洗設(shè)備表面通過等離子體處理，去除靜電，增強表面附著力。經(jīng)噴涂金屬，延長使用壽命，其耐磨性是非等離子處理的20倍以上。塑料行業(yè):主要用于噴涂和粘接前加工，加工后的產(chǎn)品表面不涂漆，文字不脫落和褪色。等離子體表面處理器在家具制造行業(yè)中的應(yīng)用等離子體處理家具，對家具進行噴涂前處理，可以做到無底涂層，防止家具表面油漆、油漆爆炸，等離子技術(shù)已成為制造高檔家具的必要工藝。。

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