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真空等離子體清洗設(shè)備的原理主要取決于等離子體中活性粒子的&ldquo；激活&rdquo；達(dá)到去除物體表面污漬的目的。
鍍鋅板附著力問題檢測
例如，電子與電子的碰撞達(dá)到熱力學(xué)平衡，并有一個特定的氣溫，叫做電子氣溫。離子體-離子體碰撞達(dá)到熱力學(xué)平衡具有一定的氣溫Ti，稱作離子體溫度，但由于電子和離子體之間的質(zhì)量差異，雖然也發(fā)生了碰撞，但未必能達(dá)到平衡，因此Te和Ti不一定一樣。 如果放電發(fā)生在接近大氣壓的高壓環(huán)境中，電子、離子和中性顆粒會通過激烈的碰撞產(chǎn)生交換動能，使等離子體達(dá)到熱力循環(huán)。
在線式等離子清洗機(jī)實際上是由多臺獨立的等離子清洗機(jī)組成，形成全自動運行模式，既可與流水線配套使用，又可與上下游生產(chǎn)工序配套。這種設(shè)備在一定程度上大大提高了工業(yè)生產(chǎn)中的生產(chǎn)率。這種設(shè)備有一個很大的優(yōu)點，就是在原有等離子清洗技術(shù)的前提下，增加了裝卸料、物料傳輸?shù)热詣硬僮鞯墓δ埽粌H可以精細(xì)化處理，而且避免了二次污染，直接進(jìn)入下一道工序，保證了處理的有效性。
一般把電子間碰撞達(dá)到熱力學(xué)平衡的溫度稱為Te，也就是電子溫度。而當(dāng)等離子表面處理設(shè)備離子碰撞時，達(dá)到熱力學(xué)平衡的溫度是Ti，也就是離子溫度，實際上，Te和Ti通常是不同的。高氣壓條件接近大氣壓時放電，則電子、離子、中性粒子將因激烈碰撞而充分交換動能，使等離子體達(dá)到熱平衡狀態(tài)，電子溫度與離子溫度相近，屬低溫等離子體中的熱等離子體。
等離子清洗的應(yīng)用始于 20 世紀(jì)初。隨著高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，其應(yīng)用越來越廣泛，現(xiàn)已在許多高新技術(shù)領(lǐng)域中處于重要技術(shù)地位。以及人類文明的影響，電子信息產(chǎn)業(yè)，尤其是半導(dǎo)體和光電子產(chǎn)業(yè)。等離子清潔劑用于有效的表面清潔、活化和微粗糙化。通過對物體表面施加等離子沖擊，可以達(dá)到對物體表面進(jìn)行蝕刻、活化和清潔的目的。
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