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化學(xué)法是指利用化學(xué)試劑對材料表面進(jìn)行處理，改善其表面性能的方法，包括酸洗、堿洗、過氧化物或臭氧處理等。物理學(xué)改性是指利用物理技術(shù)對材料表面進(jìn)行處理，以提高其表面性能，包括等離子表面處理、光輻射處理、火焰處理、力化學(xué)處理、涂層處理和表面改性劑的添加。等離子表面處理是通過化學(xué)或物理作用對工件表面進(jìn)行處理，實(shí)現(xiàn)分子水平的污染物去除（一般厚度為3～30nm），從而提高工件表面活性。
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