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另一類是 低溫等離子發(fā)生器通Ar、He和N2等非反應(yīng)性氣體,氮等離子處理能提高原料的硬度標(biāo)準(zhǔn)和耐磨性能。Ar和He性能相對(duì)穩(wěn)定,放電電壓低(氬原子電離能E為15.57EV)容易形成亞穩(wěn)態(tài)原子。

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