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廣東等離子體除膠機(jī)參數(shù)
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選擇“（圖片5.3.2功能圖片）”參數(shù)頁面“（圖片5.3.3參數(shù)圖片）。更改洗滌時間或清除洗滌數(shù)據(jù)。 2.點擊下一步進(jìn)入手冊頁，設(shè)置氧氣和氬氣閥門打開，返回主機(jī)界面。 3.調(diào)整功率。功率調(diào)節(jié)范圍為80%到%，根據(jù)實驗需要進(jìn)行調(diào)節(jié)。四。放置要處理的對象在型腔內(nèi)，關(guān)閉型腔門并按下啟動按鈕開始疏散。五。一旦腔體產(chǎn)生輝光，根據(jù)實驗要求手動調(diào)節(jié)流量計旋鈕添加輔助氣體。 6.達(dá)到處理時間后，平衡閥自動恢復(fù)，3秒左右恢復(fù)到常壓。
流量 300sccm ,.上電極功率300W，時間Ss； 4、等離子清洗方式，氣體沖洗工藝工藝參數(shù)設(shè)置如下：腔體壓力10-20底，工藝氣體流量-300sccm，時間1-5s；啟動工藝工藝參數(shù)設(shè)置如下：（腔體壓力10-20 mtorr，工藝氣體流量-300ccm，頂部電極輸出250-400W，時間1-5s；特點5，等離子清洗方式，氣體1。
廣東等離子體除膠機(jī)參數(shù)
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