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1.等離子清洗機在導管、醫(yī)用支架和隱形眼鏡等許多醫(yī)療器械中，經(jīng)常使用功能性涂層來提高生物相容性并減少有害的副作用。然而，這些醫(yī)療器械大多具有化學惰性表面和低表面能，這使得功能涂層難以粘附在表面上。等離子清洗劑可以改善表面性能并產(chǎn)生化學活性官能團，等離子清洗劑表面處理技術(shù)可以提高生物醫(yī)學涂層的附著力。 2.金屬、聚合物和硅膠可以用等離子清潔劑處理，以改善蛋白質(zhì)吸附和細胞粘附。
簡單而言，自動清洗臺是多片同時清洗，的優(yōu)勢在于設備成熟、產(chǎn)能較高，而單晶圓清洗設備是逐片清洗，優(yōu)勢在于清洗精度高，背面、斜面及邊緣都能得到有效的清洗，同時避免了晶圓片之間的交叉污染。45nm之前，自動清洗臺即可以滿足清洗要求，在目前仍然有所應用；而在45以下的工藝節(jié)點，則依賴于單晶圓清洗設備達到清洗精度要求。在未來工藝節(jié)點不斷減小的情況下，單晶圓清洗設備是目前可預測技術(shù)下清洗設備的主流。
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等離子清洗過程涉及許多影響顆粒并直接影響去除效果的復雜物理過程，廣東真空等離子處理機批發(fā)如等離子的產(chǎn)生和沉積能量的積累。直徑為10～2納米的顆粒分布在硅襯底表面，除極小的納米顆粒外，大部分顆粒在等離子體的作用下被去除。等離子沖擊波對去除微納米顆粒的影響非常明顯。直徑大于 0.5 μm 的顆粒被完全去除，但小于該尺寸的顆?；救コ嗽紨?shù)量的 50% 左右。
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