惰性氣體如氬氣（AR）、氮?dú)猓∟2）、三氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）、空氣以及氧氣（O2）和氫氣（H2）等活性氣體用于不同的清洗工藝。氣體的反應(yīng)機(jī)理不同，如何讓文案具有附著力活性氣體的等離子體具有很強(qiáng)的化學(xué)反應(yīng)性。具有不同性質(zhì)的氣體有不同的污染物選擇用于清潔。當(dāng)一種氣體被一種或多種附加氣體滲透時(shí)，這些元素的組合可以產(chǎn)生所需的蝕刻和清潔效果。
（5）平時(shí)對(duì)等離子清洗機(jī)進(jìn)行維護(hù)或保養(yǎng)時(shí)，如何讓文案具有附著力需要先關(guān)閉等離子發(fā)生器電源，再進(jìn)行相關(guān)維護(hù)工作。。等離子體表面處理技術(shù)在離子束刻蝕氣體團(tuán)簇中的應(yīng)用；用等離子體表面處理器進(jìn)行氣體團(tuán)簇離子束刻蝕具有傳統(tǒng)等離子體刻蝕所不具備的一系列特性。在傳統(tǒng)等離子體中，電子和離子的能量分布很寬，少數(shù)高能粒子在刻蝕靶材料過(guò)程中可以穿透表面數(shù)層原子，對(duì)襯底造成損傷。
3、化學(xué)性質(zhì)活潑，如何讓文案具有附著力較易發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，如等離子體去除有機(jī)物等。4、發(fā)光特性，可制作多種光源。比如，霓虹燈、水銀日光燈等都是等離子發(fā)光現(xiàn)象。plasma設(shè)備產(chǎn)生的等離子體具有上述特征，是由于等離子體內(nèi)電子與氣體分子之間的碰撞所致。當(dāng)碰撞能很小時(shí)，發(fā)生彈性碰撞，而電子的動(dòng)能幾乎沒(méi)有變化。當(dāng)碰撞能量很高時(shí)，分子中低能電子繞核運(yùn)動(dòng)，在碰撞中將獲得足夠高的能量，從而被激發(fā)到遠(yuǎn)離核的高能級(jí)軌道上進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。
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如何讓文案具有附著力
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一種是圓柱形的，即射頻耦合天線螺旋纏繞在圓柱形放電管（通常是絕緣石英管）上，一種是扁平的，即射頻耦合天線同心螺旋布置在放電管頂部，射頻能量通過(guò)天線耦合到放電管上，產(chǎn)生高密度、均勻的ICP等離子體[7]。
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