由于等離子體是一種具有很高能量和極高活性的物質(zhì),有機硅樹脂對基材的附著力它對于任何有機材料等都具有良好的蝕刻作用,而且等離子制成是一種干法處理,沒有污染,因而在最近幾年被大量運用到印制板制造中來。
首先,有機硅樹脂的附著力真空泵開始抽吸等離子清洗室中的空氣,使等離子清洗室形成真空環(huán)境。隨著氣體越來越薄,分子間的力越來越小,分子與分子或離子自由運動之間的距離越來越長。然后打開氬氣控制閥,將氬氣充入等離子清洗室,直至氬氣充滿整個等離子清洗室。電極通電,氬氣與電場碰撞形成等離子體分解的離子。氬等離子體產(chǎn)生的離子以足夠的能量撞擊芯片表面,與有機污染物和顆粒污染物發(fā)生反應或碰撞,形成揮發(fā)性物質(zhì)。
, 原子, 分子, 電子: O2 + CF2 & RARR; O + OF + CO + COF + F + E + 等離子體中的自由基和陽離子是上述高分子有機材料(C, H, O, N) 它發(fā)生化學反應??妆?。
等離子體中存在以下物質(zhì):;高速運動的電子;處于激發(fā)態(tài)的中性原子、分子和原子團(自由基);電離原子和分子:分子解離反應過程中產(chǎn)生的紫外光;未反應的分子、原子等,有機硅樹脂對基材的附著力但該物質(zhì)整體上保持電中性。等離子清洗機就是利用等離子體中的活性粒子來對物體表面進行清潔?;钚粤W訒c表面的有機物或者氧化物等發(fā)生化學反應進而生成易于揮發(fā)的物質(zhì)可以被真空泵排出反應腔體達到清洗物體表面的效果。
有機硅樹脂的附著力
利用強局域場參與非平衡等離子體中高能電子和強電子散射函數(shù)的尾部,有可能產(chǎn)生新的化學反應。等離子體環(huán)境有利于許多化學反應。氣體類型、流量、壓力和輸入功率等工藝參數(shù)決定了反應能否產(chǎn)生主要的輸入工藝參數(shù)。邊界和底部之間也會有多重反應。通過相關的表面處理得到燒蝕率和積累率。當有機蒸氣作為工作氣體時,會發(fā)生等離子體聚合和聚集。
圖1簡要描繪了等離子清洗的效果原理。首先,是通過等離子體效應材料表面發(fā)生一系列物理和化學變化。材料中包含的活性粒子和高能射線與表面的有機污染物分子反應,相互碰撞形成微小的蒸發(fā)物質(zhì),從表面去除,完成清潔效果。可見,等離子體清洗技術具有工藝簡單、高效節(jié)能、安全環(huán)保等顯著優(yōu)勢。
以水為例:在0℃以下的溫度下,水會以固態(tài)出現(xiàn),即“冰”;在0℃至℃的溫度下,水會變成液體,即“水”;在℃以上的溫度下,水會變成氣體,即“水汽”加熱到數(shù)萬度后,物質(zhì)會進入第四種狀態(tài)——等離子!常壓(大氣壓)等離子體清洗機是通過注入電極注入無水、無油壓縮空氣(CDA)等氣體形成等離子體的裝置。
目前廣泛使用的等離子清洗機清洗技術,對于等離子清洗機的使用也是越來越廣泛,其清洗技術的作用也將逐漸為大家所認識。。等離子清洗機清洗技術的作用突出 隨著時代的發(fā)展,科技在不斷的進步,各行各業(yè)都有了自己的進步空間,不同的行業(yè)都有不同的應用。等離子設備相信大家都了解一下,對于等離子外加工也了解了一下,那么對于等離子清洗機,它的清洗技術的作用比較突出,下面我們就來看看吧。
有機硅樹脂的附著力
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這些離子具有足夠的反應性和能量來破壞幾乎所有的化學鍵并在暴露的表面上引發(fā)化學反應。不同氣體的等離子體具有不同的化學性質(zhì)。例如,有機硅樹脂對基材的附著力氧等離子體具有很強的氧化性,會氧化光刻膠產(chǎn)生氣體,具有清潔作用。腐蝕性氣體等離子體具有良好的各向異性,可以滿足刻蝕需要。等離子加工時會發(fā)光,因此稱為輝光放電加工。等離子清洗機主要是依靠等離子中活性粒子的“(活化)”來清除物體表面的污垢。從反應機理來看,等離子清洗通常涉及以下幾個過程。