高能電子衍射(RHEED)分析表明,劃格法 測附著力等離子體處理的SiC表面比傳統(tǒng)濕法處理的SiC表面更平坦,表面出現(xiàn)(1×1)結(jié)構(gòu)。等離子體清洗機等離子體氫處理可有效去除表面碳污染,暴露在空氣中30分鐘后發(fā)現(xiàn),等離子體處理后的SiC表面氧含量明顯低于傳統(tǒng)濕法清洗的表面,等離子體處理后的表面抗氧化性明顯提高,為制造歐姆接觸、低界面態(tài)的MOS器件奠定了良好基礎。。
整個清洗過程可在幾分鐘內(nèi)完成,漆膜附著力劃格法 判定因此具有收率高的特點;等離子體清洗需要控制真空度在Pa左右,這種清洗條件很容易達到。
1.拆下排氣閥座蓋,劃格法 測附著力折疊強力蓋螺絲取下蓋,注意不要損壞密封圈。 2.拆卸平板電腦的排氣閥壓板。 3. 拆下排氣閥。拆卸真空等離子表面處理機的真空泵轉(zhuǎn)子。 1.拆下轉(zhuǎn)子固定螺釘。 2.取下小螺帽,同時檢查小螺帽是否磨損。 3. 拆卸二級轉(zhuǎn)子。檢查缸腔和二級旋片是否磨損,檢查油路是否堵塞。拆下真空等離子表面處理機真空泵的止回閥。 1.拆下真空泵進氣口的固定螺絲,取出進氣口,注意不要損壞密封圈。
等離子體技術(shù)應用的優(yōu)點(傳統(tǒng)的工藝相比較): 1 不會改變基體固有性能,劃格法 測附著力改性作用僅僅發(fā)生在表面,約幾到幾十個納(米)。如半導體納(米)蝕刻。 2 全程干燥的處理方式(干式法) ,無需溶解劑和水,幾乎不產(chǎn)生污染,因而節(jié)約能源,降(低)成本。 3 作用時間短,反應速率高,加工對象廣,能顯著提高產(chǎn)品質(zhì)量。 4 工藝簡單、操作方便,生產(chǎn)可控性強,產(chǎn)品一致性好。 5 屬于健康型工藝,對操作人員身體無傷害。
漆膜附著力劃格法 判定
與傳統(tǒng)燃燒技術(shù)相比,等離子處理技術(shù)具有環(huán)保、處理徹底、無二次污染、低碳排放等特點。它是一種能徹底吹除各種有毒有毒物質(zhì),有效去除污染,可廣泛應用的新技術(shù)。。等離子清洗機用途廣泛。在手機行業(yè)、噴涂行業(yè)、橡塑行業(yè),在噴涂前采用等離子表面活化處理,以提高產(chǎn)品的表面清潔度和表面活性,在大氣壓下受到高壓激發(fā),點燃等離子。等離子體在壓縮空氣的幫助下從噴嘴噴出。
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