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等離子處理設(shè)備微電子學(xué)封裝生產(chǎn)過(guò)程中的污染分子清除處理:在微電子工業(yè)中,湖北非標(biāo)加工等離子清洗機(jī)腔體便宜清潔是一個(gè)廣泛的概念,它包括了所有與污染物清除相關(guān)的過(guò)程。一般是指在不破壞數(shù)據(jù)表面特性和電特性的前提下,有效地清除數(shù)據(jù)表面殘余的塵埃、金屬離子和有機(jī)物雜質(zhì)。目前廣泛采用的物理化學(xué)清洗方法,大致可以分為兩種:濕法清洗和等離子處理設(shè)備干法清洗。目前,濕洗仍占微電子清洗工藝的主導(dǎo)地位。
環(huán)氧樹(shù)脂地坪漆檢驗(yàn)與試驗(yàn)設(shè)備 1、環(huán)氧樹(shù)脂地坪漆底材外表溫度及環(huán)境溫濕度儀:測(cè)定環(huán)氧樹(shù)脂地坪漆涂裝環(huán)境溫濕度及環(huán)氧樹(shù)脂地坪漆底材外表溫度以確認(rèn)是否滿(mǎn)意環(huán)氧樹(shù)脂地坪漆涂裝要求。 2、環(huán)氧樹(shù)脂地坪漆基材含水率測(cè)定儀:用以測(cè)定基材含水率以斷定是否符合環(huán)氧樹(shù)脂地坪漆涂裝要求。 3、環(huán)氧樹(shù)脂地坪漆導(dǎo)靜電電阻測(cè)定儀:用以測(cè)定防靜電環(huán)氧樹(shù)脂地坪漆地坪的導(dǎo)靜電電阻率。
物理反應(yīng)原則是活性顆粒轟擊待除污面上,湖北非標(biāo)加工等離子清洗機(jī)腔體什么價(jià)格使污染物脫離面上,然后被真空泵吸走;化合反應(yīng)原則是各種活性顆粒和污染物作用帶來(lái)?yè)]發(fā)性物質(zhì),然后由真空泵吸走揮發(fā)性物質(zhì)。 等離子體處理設(shè)備主要是物理反應(yīng),也稱(chēng)為濺射腐化(SPE)或離子銑削(IM)。
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特性:適應(yīng)性強(qiáng),表面均勻,對(duì)硅片損傷小,幾乎適用于所有金屬,玻璃,塑料等材料。壞處:制圖保真不理想,制圖極小線難以把握。濕法蝕刻是將蝕刻材料浸入蝕刻液中進(jìn)行蝕刻的技術(shù)。簡(jiǎn)而言之,就是中學(xué)化學(xué)課上化學(xué)溶液蝕刻的概念,它是一種純化學(xué)蝕刻,具有極好的選擇性,刻蝕完當(dāng)前的薄膜后就停止,而不會(huì)破壞下面的其他材料的薄膜。半導(dǎo)體濕法蝕刻系統(tǒng)均為各向同性蝕刻,因此對(duì)氧化層和金屬層的蝕刻,橫向蝕刻寬度均接近垂直蝕刻深度。
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