在傳感技術(shù)、移動(dòng)通訊、信息技術(shù)和電動(dòng)汽車等方面具有極其重要和廣闊的應(yīng)用前景； 在碳納米管的應(yīng)用上，湖北生產(chǎn)等離子清洗機(jī)腔體優(yōu)質(zhì)服務(wù)利用多臂碳納米管和銀復(fù)合并通過印刷方式得到的導(dǎo)電聚合物傳感器，在140%的拉伸下，導(dǎo)電性仍然高達(dá)20S/cm。 當(dāng)碳納米管和石墨烯綜合應(yīng)用時(shí)，可以制備高度拉伸的透明場(chǎng)效應(yīng)晶體管。其結(jié)合了石墨烯/單壁碳納米管電極和具有褶皺的無機(jī)介電層單壁碳納米管網(wǎng)格通道。

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由于采用大型等離子清洗機(jī)蝕刻的金屬硬掩模圖案作為掩模層進(jìn)行溝槽蝕刻，湖北生產(chǎn)等離子清洗機(jī)腔體優(yōu)質(zhì)服務(wù)將蝕刻后的金屬硬掩模層圖案的完整性和臨界尺寸轉(zhuǎn)移到（超）低介電常數(shù)材料上。通過溝槽蝕刻形成金屬連接。金屬硬掩模層的蝕刻后設(shè)計(jì)圖案保真度和蝕刻后邊際尺寸偏差的負(fù)載效應(yīng)由隨后的溝槽蝕刻繼承，并且由于溝槽蝕刻負(fù)載效應(yīng)而繼續(xù)放大這些偏差。因此，大型等離子清洗機(jī)需要嚴(yán)格控制金屬硬掩模層的蝕刻。負(fù)載效應(yīng)越小，設(shè)計(jì)的金屬互連圖案的保真度就越高。

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2.活化結(jié)合能，交聯(lián)由于等離子體中的粒子能量為0-100 eV，而聚合物中的大部分結(jié)合能為0-100 eV，等離子體作用于固體表面后，固體表面可以：原始化學(xué)鍵斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)絡(luò)狀交聯(lián)結(jié)構(gòu)，顯著激活表面活性。 3.新官能團(tuán)的形成——化學(xué)作用當(dāng)將反應(yīng)氣體引入放電氣體時(shí)，活化材料表面會(huì)發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，引入新的官能團(tuán)，如烴基、氨基、羧基等。

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