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(3)由于在真空室內(nèi)的電極和接地裝置之間施加了高頻電壓,劃格子檢查油漆附著力氣體被分解并通過輝光放電產(chǎn)生電離和等離子體。待處理的工件完全包裹在真空室內(nèi)產(chǎn)生的等離子體中,開始清洗。通常,清潔過程持續(xù)幾十秒到幾分鐘。 (4)清洗后,切斷高頻電壓,排出氣體和汽化的污垢,同時將氣體吹入真空室,使氣壓升至1個大氣壓。。
等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場合產(chǎn)生的物質(zhì)。等離子體清洗蝕刻產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封的容器中設(shè)置兩個電極形成電磁場,檢查油漆附著力的裝置用真空泵實現(xiàn)一定程度的真空,隨著氣體越來越稀薄,分子之間的距離和分子或離子的自由運動距離越來越長。在磁場作用下,碰撞形成等離子體,同時會產(chǎn)生輝光。等離子體在電磁場中運動,轟擊被處理物體表面,從而達(dá)到表面處理、清洗和蝕刻的效果。
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2. 等離子體是由電子、離子、自由基、激發(fā)態(tài)分子和原子、基態(tài)分子和光子等組成,表面上看呈電中性,其實內(nèi)部具有很強(qiáng)的電特性、化學(xué)特性和熱效應(yīng)。
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2. 取決于等離子體的狀態(tài): (1) 平衡等離子體:具有高氣壓且電子溫度和氣體溫度大致相等的等離子體。常壓下的電弧放電等離子體和高頻感應(yīng)等離子體。 (2)非平衡等離子體:在低壓或常壓下,電子溫度遠(yuǎn)高于氣體溫度。低壓直流輝光放電、高頻誘導(dǎo)輝光放電、大氣壓下DBD介質(zhì)阻擋放電產(chǎn)生的冷等離子體等。。
300年sccm流動。
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