。等離子設(shè)備等離子體蝕刻對(duì)HCI的影響： 等離子設(shè)備等離子體蝕刻工藝可靠性中的HCI指的是高能量的電子和空穴注入柵氧化層而引起器件性能退化。 注入時(shí)會(huì)產(chǎn)生界面態(tài)和氧化層陷阱電荷，湖南實(shí)驗(yàn)室低溫等離子表面處理機(jī)性能造成氧化層的損傷，隨著損傷程度的加深，器件的電流電壓特性發(fā)生變化，當(dāng)器件參數(shù)的變化超過一定限度后，器件就會(huì)失效。

PPA (Polyphthalamide ) 聚鄰苯二甲酰胺，湖南實(shí)驗(yàn)室低溫等離子表面處理機(jī)性能是一種綜合性能優(yōu)異的特種工程塑料，具有優(yōu)良的耐高溫、耐腐蝕、耐輻射、阻燃、均衡的物理機(jī)械性能和極好的尺寸穩(wěn)定性以及優(yōu)良的電性能等特點(diǎn)，被廣泛用作結(jié)構(gòu)性高分子材料，通過填充、改性后廣泛用作特種工程塑料。同時(shí)，還可制成各種功能性的薄膜、涂層和復(fù)合材料，在電子電器、航空航天、汽車運(yùn)輸?shù)阮I(lǐng)域獲得成功應(yīng)用。

在研究不同條件下高分子材料表面的等離子體處理以提高材料在不同情況下的性能的同時(shí)，湖南實(shí)驗(yàn)室低溫等離子表面處理機(jī)性能也研究并建立了高分子材料的表面-等離子體相互作用模型，以形成特定的形態(tài)。為定量設(shè)計(jì)和控制提供理論依據(jù)。。在高分子材料的改性中，等離子體表面處理的應(yīng)用主要包括：表面親水性或疏水性：典型的聚合物材料暴露于氣體等離子體，例如 NH3、O2、CO、Ar、N2 和 H2。

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這類污染物通常會(huì)在晶圓表面形成有機(jī)薄膜，以防止清洗液到達(dá)晶圓表面，導(dǎo)致晶圓表面清洗不徹底，使得清洗后的晶圓表面上金屬雜質(zhì)等污染物保持完好。此類污染物的去除通常在清潔過程的一開始的步驟進(jìn)行，主要使用硫酸和過氧化氫。1.3金屬：半導(dǎo)體技術(shù)中常見的金屬雜質(zhì)包括鐵、銅、鋁、鉻、鎢、鈦、鈉、鉀、鋰等。這些雜質(zhì)的來(lái)源主要包括各種容器、管道、化學(xué)試劑以及半導(dǎo)體晶片加工過程中的各種金屬污染。

2）激活鍵能，交聯(lián)作用等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。

在濺射、噴漆、粘合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂層之前，鋁箔金屬表面經(jīng)常會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物和氧化層，這些都需要清洗處理，才能得到完全清潔、無(wú)氧化的表面。但現(xiàn)有技術(shù)大多采用化學(xué)清洗方法，需要溶劑，不環(huán)保，又易產(chǎn)生“氫脆”現(xiàn)象，去污效果不理想，除污速度慢，且易影響鋁箔的機(jī)械性能指標(biāo)，使用等離子清洗表面處理機(jī)可解決上述問題。

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