一些主要的蝕刻工藝是： 1.形成反應(yīng)顆粒； 2.反應(yīng)粒子到達(dá)晶片表面并被吸附3.晶片表面與化學(xué)吸附反應(yīng)形成化學(xué)鍵并形成反應(yīng)產(chǎn)物；四。溶液 吸附化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)物，供應(yīng)等離子清洗系統(tǒng)批發(fā)去除晶圓表面并抽出腔室；示例：SF6 + e-> SF5 + F + e；SF5 + e-> SF4 + F + e；等。F原子到達(dá)襯底并與襯底反應(yīng)F+Si->SiF，SiF+F->SiF2；SiF+SiF->SiF4。 1 效果。
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2.低溫寬幅等離子清洗機(jī)激發(fā)頻率分類等離子態(tài)的密度和激發(fā)頻率有如下關(guān)系：nc=1.2425×108v2其中nc為等離子態(tài)密度（cm-3），江蘇供應(yīng)等離子清洗機(jī)腔體規(guī)格齊全v為激發(fā)頻率（Hz）。常用的等離子體激發(fā)頻率有三種：激發(fā)頻率為40kHz的等離子體為超聲等離子體，13.56MHz的等離子體為射頻等離子體，2.45GHz的等離子體為微波等離子體。不同等離子體產(chǎn)生的自偏壓不一樣。
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等離子清洗設(shè)備提高高分子材料表面電導(dǎo)率提高高分子材料的導(dǎo)電性是等離子清洗設(shè)備的應(yīng)用之一。采用高效PET導(dǎo)電膜，江蘇供應(yīng)等離子清洗機(jī)腔體規(guī)格齊全材料表面采用等離子感應(yīng)接枝技術(shù)，提高了抗靜電性能，提高了產(chǎn)品的實(shí)用價(jià)值。二、等離子清洗設(shè)備對(duì)材料生物相容性的影響當(dāng)高分子材料用于生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域時(shí)，除了強(qiáng)度和彈性的要求外，還有相應(yīng)的生物相容性標(biāo)準(zhǔn)。材料的生物相容性可以從以下幾個(gè)方面來理解。
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等離子 等離子清洗設(shè)備的表面改性是低溫等離子與材料表面處理（塑料材料表面處理、金屬制品、鋁材表面處理、印刷包裝、涂層、粘接）等塑料材料橡膠制品表面的相互改性。是動(dòng)作的鏈接。低溫等離子表面處理），等離子清洗機(jī)主要用于清洗材料表面，提高表面的附著力和附著力。等離子清洗機(jī)通常用于以下位置： 1。
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