優(yōu)點(diǎn):(大氣型快速量產(chǎn))2、(真空等離子清洗機(jī))原理也是一樣的,為什么自噴漆附著力不好在真空腔體里,通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體,通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品面,以達(dá)到清洗目的。優(yōu)點(diǎn):(真空型精密全面)。
電暈等離子處理器技術(shù)是一種新的半導(dǎo)體制造技術(shù)。該技術(shù)以前應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,為什么自噴漆附著力不好是必不可少的半導(dǎo)體制造工藝。因此,它是集成電路加工中一項(xiàng)長期成熟的技術(shù)。由于電暈等離子處理器產(chǎn)生的等離子是一種高能量、高活性的物質(zhì),它對(duì)所有有機(jī)材料都有極好的蝕刻(效果)效果。電暈等離子處理器生產(chǎn)的等離子產(chǎn)品是干法工藝,由于不會(huì)造成污染,近年來被廣泛用于半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)中。
1、將樣品置于艙內(nèi);關(guān)閉三通閥(箭頭朝下);緊握清潔機(jī)門,什么自噴漆附著力強(qiáng)接近真空室;打開真空泵的電源開關(guān),等待幾分鐘等待抽空艙內(nèi)空氣的釋放,清潔機(jī)門。2.抽氣,打開與室內(nèi)空氣相通的三通閥(lever指向針形閥needlevalve);輕輕打開針型閥,讓空氣進(jìn)入清洗機(jī)艙內(nèi)。(首先關(guān)閉needlevalve)。形成一個(gè)等離子體。
根據(jù)清洗材料的不同,為什么自噴漆附著力不好可分別選用氧氣、氫氣、氬氣或氮?dú)?。?)在真空室內(nèi)電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體分解,通過輝光放電產(chǎn)生電離和等離子體。讓真空室內(nèi)產(chǎn)生的等離子體完全覆蓋待處理工件,開始清洗作業(yè)。一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾分鐘。(4)清洗后,切斷高頻電壓,并將氣體和汽化的污物排出,同時(shí)吹入真空室,并使氣壓上升到一個(gè)大氣壓。
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由于氮?dú)饪梢越档偷入x子體溫度,一些射流等離子體清洗也可以使用氮?dú)?。電暈放電需要注意的是,?a href="http://d8d.com.cn/" target="_blank">等離子清洗機(jī)中還有一種產(chǎn)品叫電暈。事實(shí)上,電暈也是等離子清洗機(jī)的一種分類。電暈機(jī)的洗滌溫度一般較高。電暈機(jī)的洗滌溫度與射流等離子體的洗滌溫度相近。有時(shí),不耐高溫的材料也會(huì)用氮?dú)馇逑?。其?shí),不必過于擔(dān)心溫度問題。目前的等離子清洗機(jī)可以很好的調(diào)節(jié)溫度,使物料清洗達(dá)到理想的效果(效果)。。
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