這種差異可能是由 Ar 和 He 之間的顯著質(zhì)量差異引起的。 2.硬掩模(氮化鈦)的截面形狀控制氮化鈦常用作GST蝕刻的硬掩模,鈦的親水性怎么樣其截面形狀直接影響底層GST的輪廓。等離子清洗劑氯(Cl)主要用于蝕刻氮化鈦。當(dāng)在氯氣中氮化鈦的截面形狀中加入 BCl3 和 He 時(shí),可以看出 He 的加入增加了光的選擇性。其蝕刻的氮 TiO2 刻面明顯比添加 BCl3 更傾斜。
經(jīng)等離子蝕刻機(jī)處理后,鈦的親水性怎么樣將氨基引入鈦表層并蝕刻形成干凈的表層??紤]到鈦片的具體規(guī)格,與表層相連的基團(tuán)數(shù)量比較有限,而氮的總量基本恒定,因此氨基數(shù)量較多,氮化鈦的檢測變得困難。氨和氮在等離子體室中被電離。拋光后的鈦片表面沒有氧化膜,但在空氣中立即形成一層氧化鈦膜。高頻等離子刻蝕機(jī)等離子室中的氮?dú)涞入x子體(如-NH2.-NH.N)使鈦表層躍遷,使鈦-氧鍵斷裂,同時(shí)在表層形成氫等離子體. 減少氧化。
根據(jù)U型溝槽中氮化鈦的切割順序,鋇和鈦的親水性比較強(qiáng)對嗎下電極接觸孔蝕刻有光刻分割和等離子清洗機(jī)等離子表面處理機(jī)蝕刻后刻兩種工藝流程。光刻分割工藝?yán)霉庾鑳啥藛柧鄟矶x分割區(qū)城,其后依次去除掉下層薄膜,去除U型溝槽上表面、側(cè)壁的氮化鈦,底部氮化鈦也隨之被切割。該工藝流程簡單,光罩成本低,但光刻技術(shù)的限制可能導(dǎo)致直線端末緊縮(Line End Shortening,LES),引起側(cè)壁化鈦損傷。
大氣DBD等離子體放電的工作范圍與擊穿電壓有什么關(guān)系?相關(guān)研究需要什么樣的裝置和測試數(shù)據(jù)?在間隙距離d=2mm的條件下,鋇和鈦的親水性比較強(qiáng)對嗎確定適宜的氣流速度為21cm/s,研究了氮?dú)釪BD大氣壓均勻放電時(shí)外加電壓Va的幅值Vm和頻率f范圍,得到了氮?dú)釪BD大氣壓湯姆遜放電的工作范圍。結(jié)果如下圖所示。發(fā)現(xiàn)只有外加電壓的幅值和頻率在一定范圍內(nèi),才能獲得穩(wěn)定的湯森放電。
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20、[Q]什么樣的布局可以達(dá)到散熱效果?[A] PCB中的熱量主要有三個(gè)方面:電子元件的熱量;P, C, B;其他部件的熱量。在這三種熱源中,元件產(chǎn)生的熱量是主要的熱源,其次是PCB板產(chǎn)生的熱量。外部熱量取決于系統(tǒng)的整體熱設(shè)計(jì),暫不考慮。那么熱設(shè)計(jì)的目的就是采取適當(dāng)?shù)拇胧┖头椒ń档驮骷蚉CB板的溫度,使系統(tǒng)在適當(dāng)?shù)臏囟认抡9ぷ鳌V饕峭ㄟ^降低熱量,并加快散熱來實(shí)現(xiàn)的。
此外,經(jīng)等離子體處理后,纖維與樹脂之間的堿性結(jié)合也有所改善。美國已經(jīng)開始使用等離子氧化法生產(chǎn)低成本、高質(zhì)量的碳纖維。等離子體氧化比傳統(tǒng)氧化快三倍,消耗的能量不到三分之一。如果溫度上升,氣體會怎么樣?科學(xué)家告訴我們,這是一個(gè)分子的組成原子分離成單獨(dú)的原子。例如,一個(gè)氮分子分裂成兩個(gè)氮原子。我們把這個(gè)過程稱為氣體中分子的解離。
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