這個(gè)要具體看污垢的附著程度,吉林等離子除膠渣機(jī)視頻教程若是不太臟時(shí)可用低壓水槍混合洗潔精噴洗或用熱水混合洗潔精泡洗;若是污垢嚴(yán)重,用濃度為1:25的燒堿與熱水。特別注意:清洗后的電極要將其晾干后才可再次裝入并調(diào)試好才能使用。3、設(shè)備不運(yùn)行時(shí),應(yīng)將系統(tǒng)進(jìn)氣口蝶閥關(guān)閉,需要運(yùn)行設(shè)備時(shí)再將其打開;設(shè)備運(yùn)行1分鐘后開啟等離子電源按鈕,按順序3-5s依次打開。
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它的基本原理是在真空低氣壓下,ICP 射頻電源產(chǎn)生的射頻輸出到環(huán)形耦合線圈,以一定份額的混合刻蝕氣體經(jīng)耦合輝光放電,產(chǎn)生高密度的等離子體,鄙人電極的RF 射頻作用下,這些等離子體對(duì)基片外表進(jìn)行炮擊,基片圖形區(qū)域的半導(dǎo)體資料的化學(xué)鍵被打斷,與刻蝕氣體生成揮發(fā)性物質(zhì),以氣體形式脫離基片,從真空管路被抽走?! 】涛g機(jī)和光刻機(jī)的差異 刻蝕相對(duì)光刻要容易。
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關(guān)于大氣射流等離子體基本特性機(jī)理主要有等離子體激勵(lì)電源、等離子體產(chǎn)生裝置、放電特征分析、等離子體參數(shù)診斷及調(diào)控、放電穩(wěn)定性和均勻性等。
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