微波等離子清洗設(shè)備與射頻等離子清洗設(shè)備對(duì)比目前,等離子激勵(lì)電源頻率主要有四種:直流、低頻、射頻、微波。這幾種是依據(jù)國(guó)際通信機(jī)構(gòu)規(guī)定可以使用的頻率。射頻等離子清洗設(shè)備使用頻率為13.56MHz,微波等離子清洗設(shè)備使用設(shè)備為2.45GHZ。
微波等離子清洗設(shè)備與射頻等離子清洗設(shè)備對(duì)比
與射頻等離子清洗設(shè)備的匹配性相比,微波等離子清洗設(shè)備的匹配性更加困難,主要由于微波反饋過程中,如果不能精確的進(jìn)行負(fù)載調(diào)節(jié),微波源將很容易造成損傷。所以說精確的匹配性調(diào)節(jié)是獲得優(yōu)良清洗效果的必要條件。微波源配備合適的匹配系統(tǒng)可以根據(jù)清洗腔體及產(chǎn)品等清洗條件的不同進(jìn)行負(fù)載阻抗自動(dòng)調(diào)節(jié),使清洗效果及一致性達(dá)到最佳。
微波頻率相對(duì)于射頻有兩個(gè)決定性優(yōu)勢(shì),其一是離子濃度最高,在微波等離子里的反應(yīng)微粒數(shù)量要遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于在射頻等離子里的反應(yīng)等離子數(shù)量,這會(huì)使反應(yīng)速度更快,反應(yīng)時(shí)間更短。其二,等離子的一個(gè)自然特性是可以在直接暴露于等離子的基材上生成一種自偏壓。這種自偏壓要取決于等離子的激勵(lì)頻率,比如頻率為2.45GHz的微波一般僅要求5-15伏,而在同樣的情況下,射頻等離子自偏壓卻要求100伏。
頻率越高,等離子體離子密度越高;頻率越高,自偏壓越低。綜上所述,相對(duì)于射頻等離子清洗機(jī),微波等離子清洗機(jī)的優(yōu)點(diǎn)在于:(1)無內(nèi)部電極,可避免放電污染,能量轉(zhuǎn)換效率高,可產(chǎn)生大范圍的高密度等離子體;(2)無損傷工藝,自偏壓極小;(3)高電子密度,制備各種功能薄膜材料的速率較快;(4)離子沖擊小,對(duì)器件的損傷?。唬?)不產(chǎn)生紫外線輻射。正是因?yàn)榫哂幸陨蟽?yōu)點(diǎn),微波等離子在一些工藝中具有不可替代性,例如一些電敏感器件制程中的去膠和清洗。
以上就是國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)廠家關(guān)于微波等離子清洗設(shè)備與射頻等離子清洗設(shè)備對(duì)比的簡(jiǎn)單介紹,由于激發(fā)頻率高,離子動(dòng)能小,化學(xué)等離子作用在微波等離子清洗設(shè)備中占主要部分,可以實(shí)現(xiàn)更均勻有效地清洗,在清洗中沒有物理等離子體所產(chǎn)生的物理沖擊和濺射現(xiàn)象,在高可靠性要求的器件尤其是軍用器件生產(chǎn)工藝過程中,微波等離子清洗設(shè)備成為關(guān)鍵首選的設(shè)備。微波等離子清洗設(shè)備與射頻等離子清洗設(shè)備對(duì)比00224436