由于等離子體中存在高能電子、離子、原子、自由基等活性粒子，端子等離子體去膠機容易與固體表面發(fā)生反應，固體表面受到化學和物理沖擊。污染物分子在極短的時間內(nèi)分解蒸發(fā)，在各種高能粒子的撞擊下被粉碎并被抽出到真空中，進而發(fā)生各種反應。例如，產(chǎn)生的紫外線會發(fā)出強光?；盍Γ街谖矬w表面的分子鍵可以被破壞和分解，從而達到分解污染物的目的。
可能有人會問：溫度到了幾千度，端子等離子體去膠機還是冷的。這時候就要知道顆粒的溫度和溫度計測得的溫度是不一樣的。由于此時的氣體密度很低，溫度計測得的溫度與外界環(huán)境的溫度幾乎相同，實際上是低溫等離子體。當氣體處于高壓狀態(tài)并從外界獲得大量能量時，粒子它們之間的碰撞頻率明顯增加，各種粒子的溫度基本相同。即TE與TI、TN基本相同。在這種狀態(tài)下得到的等離子體稱為高溫等離子體，太陽本質(zhì)上是高溫等離子體。
由于真空泵的影響，端子等離子體去膠機艙內(nèi)氣壓達到5級。 -對于 -10 mTorr，使用高頻發(fā)生器。由于 的影響，在電極之間產(chǎn)生等離子體，對樣品表面進行處理，達到改變表面活性的目的。
目前，端子等離子體去膠機基于碳納米管的納米電子器件的研發(fā)備受關注，如果能夠在低溫下現(xiàn)場生產(chǎn)碳納米管，將納米電子器件與傳統(tǒng)微電子加工技術相結(jié)合，將有可能實現(xiàn)超大容量。增加。超大型集成電路。 4. 等離子體增強化學氣相沉積條件對氮化硅薄膜性能的影響 氮化硅薄膜是具有優(yōu)異物理和化學性能的介電薄膜。它具有高密度、高介電常數(shù)、優(yōu)良的絕緣特性和優(yōu)良的抗NA+。
端子等離子體去膠機
當溫度足夠高時，分子中的原子獲得了足夠的動能并開始相互分離。分子在加熱時分解成原子狀態(tài)的過程稱為離解。當溫度進一步升高時，原子外的電子從原子核的結(jié)合中釋放出來，成為自由電子。失去電子的原子變成帶電離子，這個過程稱為電離。電離（部分或完全電離）的氣體稱為等離子體（或等離子體狀態(tài)）。等離子體是由帶正電和帶負電的粒子組成的氣體。由于正電荷和負電荷的總數(shù)相等，等離子體的凈電荷等于零。
