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歡迎！本章來源：。等離子表面處理是氣體分子在真空、放電等特殊情況下產(chǎn)生的物質(zhì)。一種通過等離子清洗和蝕刻進(jìn)行等離子表面處理的裝置，附著力最強的膠帶是將兩個電極置于密閉容器中，形成電磁場，并利用真空泵達(dá)到一定的真空度。隨著氣體變稀薄，分子間的距離和分子與離子的自由運動距離越來越長，在電磁場的作用下發(fā)生碰撞，形成等離子體表面處理，同時產(chǎn)生輝光。等離子表面處理在電磁場中穿越空間，沖擊待處理表面，達(dá)到表面處理、清洗、蝕刻的效果。

聚合物中的聚合物化學(xué)鍵被分離成小分子，附著力最強的膠帶是什么這些小分子被汽化并從入口真空泵中排出。同時，經(jīng)過氬等離子清洗后，可以改變材料表面的微觀形貌，使材料在分子范圍內(nèi)粗化，表面活性和結(jié)合性能顯著提高。氬等離子體的優(yōu)點是它可以清潔材料表面而不會留下任何氧化物質(zhì)。缺點是可能會在其他不需要的區(qū)域發(fā)生過度腐蝕或污染顆粒的重新積累，但這些缺點可以通過微調(diào)工藝參數(shù)來控制。。

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受電場效果，它們發(fā)生磕碰而構(gòu)成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以損壞幾乎一切的化學(xué)鍵，在任何顯露的外表引起化學(xué)反應(yīng)，不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)功用，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體，然后抵達(dá)清洗的效果；腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿意刻蝕的需求。 運用等離子處理時會宣告輝光，故稱之為輝光放電處理。

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