無(wú)論配合在三軸平臺(tái)，絲印油墨附著力好的傳輸機(jī)還是裝在整條流水線上，大氣等離子清洗機(jī)都能快速使被處理材料其中一個(gè)表面達(dá)到很好的活化效果。

等離子體物理清洗不會(huì)產(chǎn)生氧化副作用，附著力好的油性絲印油墨保持被清洗物的化學(xué)純潔性，腐蝕作用各向異性，缺點(diǎn)是對(duì)表面產(chǎn)生很大的損害和熱效應(yīng)，選擇性差，速度較低。反應(yīng)離子腐蝕化學(xué)清洗、物理清洗各有利弊，在反應(yīng)離子腐蝕中把這兩種機(jī)理結(jié)合起來(lái)，物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)都同時(shí)起重要作用，相互促進(jìn)，其效果既有較好的選擇性、清洗率、均勻性，又有較好的方向性。

  這些離子的活性很高，絲印油墨附著力好的其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng)，不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體，從而達(dá)到清洗的效果。  腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿足刻蝕的需要。利用等離子處理時(shí)會(huì)發(fā)出輝光，故稱(chēng)之為輝光放電處理。

等離子體技術(shù)是等離子體物理、等離子體化學(xué)和氣固界面化學(xué)反應(yīng)相結(jié)合的新興領(lǐng)域。這是一個(gè)典型的高科技產(chǎn)業(yè)，附著力好的油性絲印油墨需要跨越多個(gè)領(lǐng)域，包括化工、材料、電機(jī)等，因此將極具挑戰(zhàn)性，也充滿機(jī)遇，因?yàn)榘雽?dǎo)體和光電子材料未來(lái)將有快速等離子體清洗機(jī)近20年的研發(fā)和推廣應(yīng)用取得了成功的經(jīng)驗(yàn)。目前等離子體與材料表面的反應(yīng)主要有兩種，一種是自由基作用下的化學(xué)反應(yīng)，另一種是等離子體作用下的物理反應(yīng)，下面會(huì)有更詳細(xì)的說(shuō)明。

附著力好的油性絲印油墨

傳統(tǒng)濕法處理的 SiC 表面存在的主要污染物是碳和氧。這些污染物可以在低溫下與 H 原子發(fā)生反應(yīng)，并以 CH 和 H2O 的形式從表面去除。等離子處理后表面的氧含量明顯低于常規(guī)濕法清洗。已發(fā)現(xiàn)表面雜質(zhì) C 的存在是制造半導(dǎo)體 MOS 器件和歐姆接觸的主要障礙。在等離子體處理后消除Cls的高能尾，即消除CC-H污染，有利于制備高性能歐姆接觸和MOS器件。

能量被聚合物吸收后，產(chǎn)生化學(xué)性質(zhì)非?；顫姷淖杂苫?，容易與等離子體中的氣體發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生揮發(fā)性氣體?？祀x子與中性粒子碰撞產(chǎn)生的中性自由基在等離子體脫膠機(jī)中不斷轟擊樣品表面，中性粒子之間進(jìn)行電荷交換和能量傳遞，在等離子體脫膠機(jī)中進(jìn)行。運(yùn)動(dòng)動(dòng)能和振動(dòng)動(dòng)能以溫和的方式加熱表面，解離和激發(fā)產(chǎn)生的自由基以平移或振動(dòng)的方式傳遞熱量。如果能量超過(guò)閾值，可以用自由基團(tuán)簇引起濺射。

在使用新科技設(shè)備時(shí)，小編發(fā)現(xiàn)有許多人都會(huì)有這樣的擔(dān)心：等離子清洗機(jī)是否會(huì)對(duì)人體的產(chǎn)生危害?今天 為大家詳細(xì)解答使用等離子機(jī)需要了解的相關(guān)知識(shí)。

原子團(tuán)等自由基與物體表面的反應(yīng) 由于這些自由基呈電重型，存在壽命較長(zhǎng)，而 且在等離子體中的數(shù)量多于離子，因此自由基在等 離子體中發(fā)揮著重要作用。

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