什么是等離子清洗機(jī)
等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)也叫等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔等目的。
等離子體主要是通過氣體放電產(chǎn)生,其中包含電子、離子、自由基以及紫外線等高能量物質(zhì),具有活化材料表面的作用。例如,電子質(zhì)量小、移動(dòng)速度快,可以先一步到達(dá)材料表面并使其帶有負(fù)電荷,同時(shí)對(duì)材料表面產(chǎn)生撞擊作用,可促使表面吸附的氣體分子解吸或分解,也有利于引發(fā)化學(xué)反應(yīng);材料表面帶有負(fù)電荷時(shí),帶正電荷的離子會(huì)加速向其沖擊,所產(chǎn)生的濺射作用會(huì)將表面附著的顆粒性物質(zhì)除去;等離子體中自由基的存在對(duì)清洗作用具有非常重要的意義,由于自由基易與物體表面發(fā)生化學(xué)連鎖反應(yīng),產(chǎn)生新的自由基或進(jìn)一步分解,最后可能會(huì)分解成揮發(fā)性的小分子;而紫外線具有很強(qiáng)的光能和穿透能力,可透過材料表面深達(dá)數(shù)微米而產(chǎn)生作用,使表面附著物質(zhì)的分子鍵斷裂分解。

等離子表面處理技術(shù)的基本原理及應(yīng)用：

等離子清洗機(jī)原理：

等離子體清洗的作用原理，主要是通過等離子體作用于材料表面使其產(chǎn)生一系列的物理、化學(xué)變化,利用其中所包含的活性粒子和高能射線,與表面有機(jī)污染物分子發(fā)生反應(yīng)、碰撞形成小分子揮發(fā)性物質(zhì),從表面移除,實(shí)現(xiàn)清潔效果。在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，通過等體子體轟被清洗產(chǎn)品面．以達(dá)到清洗目的．

清洗和刻蝕：例如，在進(jìn)行清洗時(shí)，工作氣體往往用氧氣，它被加速了的電子轟擊成氧離子、自由基后，氧化性極強(qiáng)。工件表面的污染物，如油脂、助焊劑、感光膜、脫模劑、沖床油等，很快就會(huì)被氧化成二氧化碳和水，而被真空泵抽走，從而達(dá)到清潔表面，改善浸潤性和粘結(jié)性的目的。低溫等離子處理僅涉及材料的表面，不會(huì)對(duì)材料主體的性質(zhì)產(chǎn)生影響。由于等離子體清洗是在高真空下進(jìn)行的，所以等離子體中的各種活性離子的自由程很長，他們的穿透和滲透力很強(qiáng)，可以進(jìn)行復(fù)雜結(jié)構(gòu)的處理，包括細(xì)管和盲孔。

引入官能基團(tuán)：高分子材料用N2、NH3、O2、SO2等氣體的等離子體處理，可以改變表面的化學(xué)組成，引入相應(yīng)新的官能基團(tuán)：-NH2、-OH、-COOH、-SO3H等。這些官能團(tuán)可使聚乙烯，聚丙烯，聚苯乙烯，聚四氟乙烯等這些完全惰性的基材變成官能團(tuán)材料，可以提高表面極性，浸潤性，可粘結(jié)性，反應(yīng)性，極大地提高了其使用價(jià)值。與氧等離子體相反，而經(jīng)含氟氣體的低溫等離子體處理，可在基材表面引入氟原子，使基材具有憎水性。

等離子表面處理技術(shù)的應(yīng)用

等離子清洗能很快去除材料表面的油脂、油污等有機(jī)物及氧化層，在進(jìn)行真空鍍膜、油漆、粘合、鍵合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，用等離子表面處理工藝可以得到完全潔凈和無氧化層的表面。在PCB/FPC、半導(dǎo)體、電子裝聯(lián)、太陽能電池等行業(yè)有廣泛的應(yīng)用。

通過高頻電擊使氣態(tài)物質(zhì)具備更多能量，形成等離子體，氣態(tài)分子裂變成高度活躍的粒子。大多數(shù)材料如塑料、玻璃、陶瓷等是沒有極性的，親水性差。如果將這些材料在印刷、粘合、涂覆前進(jìn)行等離子處理，材料表面會(huì)形成活性基團(tuán)，這些活性基團(tuán)能夠增加表面極性，提高可焊性、可粘合性、可印刷性。

綜合利用等離子體的物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)，轟擊和刻蝕材料表面，使表面形成納米級(jí)的坑洼狀態(tài)，從而提高了表面接觸面積，為后續(xù)的表面鍍膜、噴涂和粘接等工藝具有更強(qiáng)的附著力。