主要的電氣控制部分包括：真空泵，蟲膠色漆附著力射頻電源，真空計，計時器，浮子流量計，綠色電源指示燈，蜂鳴器，功率調(diào)節(jié)器，放空按鈕(自鎖)，氣體一按鈕(自鎖)，氣體二按鈕(自鎖)，高頻電源按鈕(自鎖)，真空泵按鈕(自鎖)，總電源旋鈕開關。。等離子體發(fā)生器可以使操作人員遠離有害溶劑對人體的傷害:絕大部分的真空泵低溫等離子體發(fā)生器設施都選用真空泵吸干，抽氣油泵腔。一些應用是獨立的，另一些是組合的。
現(xiàn)在，蟲膠色漆附著力器材出產(chǎn)中的簡直每道工序都有清洗這一步驟，其意圖是去除芯片外表沾污、雜質(zhì)，現(xiàn)廣泛運用的物理化學清洗辦法大致可分紅濕法清洗和干法清洗兩類，尤其是干法清洗開展很快，其間的等離子體清洗優(yōu)勢顯著，在半導體器材及光電子元器材封裝范疇中獲得推廣運用。
真空等離子清洗機沒有那么復雜，蟲膠色漆附著力差怎么回事按工頻分，是40KHz和13.56mhz例:一般情況下，物料放入型腔內(nèi)工作，頻率為40KHz，一般溫度為65℃;此外，機器內(nèi)部有較強的空氣冷卻器。如果加工時間不長，材料的表面溫度就會與室溫一致。13.56MHz的頻率會更低，通常為30℃;所以加工一些熱易變形的材料，低溫真空等離子清洗機是最合適的。
單晶圓清洗設備一般是指使用旋轉(zhuǎn)噴淋對單晶圓進行化學噴淋清洗的設備。與自動化清洗站相比，蟲膠色漆附著力差怎么回事清洗效率較低，生產(chǎn)能力較低，但對工藝環(huán)境的控制能力要高得多。并去除顆粒。自動化工作站，也稱為罐式自動清洗機，是指在化學浴中同時清洗多個晶圓的設備。以目前的（頂級）技術，很難滿足整個工藝的參數(shù)要求。此外，由于同時清洗多個晶圓，自動化清洗站無法避免相互污染的弊端。
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本系統(tǒng)的設計緊湊，使用方便。印刷電路板采用易于裝載的手推車進行垂直裝載，以優(yōu)化空閑時間和提高生產(chǎn)力?？焖僬婵毡孟陆担秃臍饬亢图庸ぱh(huán)時間進一步提高了系統(tǒng)的生產(chǎn)效率。設有觸摸屏操作界面，提供多種控制功能和數(shù)據(jù)采集功能。在電路板制造過程中，真空等離子清洗機系統(tǒng)可以容納較大的面板尺寸，尺寸較小時可進行去污、回蝕和著陸墊清洗操作。等離子處理系統(tǒng)主要用于HDI、柔性和剛性電路板的清洗和蝕刻加工。
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