負(fù)偏置的作用是增加襯底表面層的離子濃度。當(dāng)偏壓過(guò)高時(shí)，聚氨酯與鋁合金附著力比較由于過(guò)多的離子在襯底外層與前體核濺射，形成一個(gè)na核，所以在偏壓增強(qiáng)成核時(shí)，偏壓的大小比較合適。。

作為真空等離子清洗機(jī)的重要組成部分，聚氨酯與鋁附著力選擇一些結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)行穩(wěn)定、可靠性高、維修方便、清潔度高的真空泵。這是目前比較熱門(mén)的發(fā)展方向。目前，我國(guó)與國(guó)外領(lǐng)先的真空等離子清洗機(jī)技術(shù)還有一定差距，尤其是在真空泵的使用壽命和可靠性方面。特別是真空泵的環(huán)保性能比較低，容易出現(xiàn)漏油、振動(dòng)、噪音等問(wèn)題。從降低功耗的角度來(lái)看，有必要繼續(xù)研究和改進(jìn)日本干式壁真空泵的性能，提高真空等離子清洗機(jī)的穩(wěn)定性。。

通常習(xí)慣將等離子清洗機(jī)與等離子米氏菌裝置進(jìn)行比較。你還認(rèn)為等離子清洗機(jī)等同于等離子殺君器嗎？這個(gè)問(wèn)題可以從兩者的工作原理來(lái)分析。

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聚氨酯與鋁附著力

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低壓真空等離子體機(jī)真空氣路控制用控制閥，主要有三種類(lèi)型，即高真空氣動(dòng)擋板閥、電磁真空帶充氣閥和手動(dòng)高真空角閥。它們的工作原理大致相同。它們基本上可以通過(guò)控制閥實(shí)現(xiàn)真空氣路通斷、壓力測(cè)量等功能，確保設(shè)備可靠穩(wěn)定運(yùn)行。不同類(lèi)型的設(shè)備具有不同的適用特點(diǎn)。高真空氣動(dòng)擋板閥；GDQ又稱高真空氣動(dòng)擋板閥。一般當(dāng)真空管路中的低壓等離子體設(shè)備短暫待機(jī)時(shí)，真空泵仍能保持工作。

（1）化學(xué)反應(yīng)（化學(xué)反應(yīng)）化學(xué)反應(yīng)中常用的氣體有氫氣(H2)、氧氣(O2)、甲烷(CF4)等，這些氣體在等離子體中反應(yīng)成高活性自由基，它們的方程式是：這些自由基會(huì)進(jìn)一步與材料表面發(fā)生反應(yīng)。其反應(yīng)機(jī)理主要是利用等離子體中的自由基與材料表面反應(yīng)。壓力較高時(shí)，有利于自由基的產(chǎn)生。因此，如果化學(xué)反應(yīng)是主要反應(yīng)，就需要控制較高的壓力來(lái)反應(yīng)。

和物理反應(yīng)相比較，化學(xué)反應(yīng)的缺點(diǎn)不易克服。并且兩種反應(yīng)機(jī)制對(duì)表面微觀形貌造成的影響有顯著不同，物理反應(yīng)能夠使表面在分子級(jí)范圍內(nèi)變得更加“粗糙”，從而改變表面的粘接特性。

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