3. 在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，工件邊緣附著力使氣體被擊穿，并通過(guò)輝光放電而發(fā)生等離子化和產(chǎn)生等離子體，讓在真空室產(chǎn)生的等離子體完全籠罩住被處理工件，開(kāi)始清洗作業(yè)，一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾十分鐘不等。4. 清洗完畢后切斷電源，并通過(guò)真空泵將氣體和氣化的污垢抽走排出。。

它的主要原理步驟是：首先將需要清洗的工件送入真空室固定，工件邊緣附著力啟動(dòng)真空泵等裝置，開(kāi)始抽真空，排出真空至約10Pa真空度；然后將等離子清洗用的氣體引入真空室(根據(jù)清洗材料不同，選擇不同的氣體，如氧、氫、氬、氮等)，并將壓力保持在 Pa左右；在真空室內(nèi)的電極和接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿，并通過(guò)輝光放電使氣體離子化，產(chǎn)生plasma等離子體；在真空室內(nèi)產(chǎn)生的等離子體完全覆蓋被清洗工件后，開(kāi)始清洗工作，清洗過(guò)程持續(xù)幾十秒至幾分鐘。

此外，工件邊緣附著力當(dāng)自由基與工件表面分子結(jié)合時(shí)，會(huì)釋放出大量的鍵能，為表面反應(yīng)創(chuàng)造新的驅(qū)動(dòng)力，消除（去除）表面之間的化學(xué)反應(yīng)。工件材料。二、電子和工作面對(duì)低溫等離子清洗的影響當(dāng)電子與工作面碰撞時(shí)，吸附在工作面上的氣體分子分解解吸，引起大量碰撞。電子的數(shù)量有利于化學(xué)反應(yīng)。由于其質(zhì)量小，電子的移動(dòng)速度比離子快得多。在等離子處理過(guò)程中，電子比離子更快地到達(dá)工件表面，從而使表面帶負(fù)電。這有助于引發(fā)進(jìn)一步的反應(yīng)。

等離子清洗機(jī)所用的氣體大致上可以分為兩種，工件邊緣附著力一種是通過(guò)物理濺射來(lái)對(duì)材料表面進(jìn)行清洗，另一種是靠化學(xué)反應(yīng)來(lái)對(duì)材料表面進(jìn)行清洗。物理性氣體等離子清洗在真空狀態(tài)下，高頻電源的高壓交變電場(chǎng)將氬氣等惰性氣體電離成高能量的等離子氣體?；钚粤Ｗ釉谄珘鹤饔孟卤患铀佼a(chǎn)生動(dòng)能，設(shè)備射頻系統(tǒng)的下電極接地，確保所有的高能電子不能穿越電極接觸到工件表面，避免對(duì)敏感器件造成電子損傷。

工件邊緣附著力問(wèn)題

其成功應(yīng)用取決于優(yōu)化工藝參數(shù)如工藝壓力、等離子體激發(fā)頻率、常壓等離子清洗機(jī)產(chǎn)生的功率、時(shí)間、設(shè)備氣體類(lèi)型、反應(yīng)室和電極配置、工件清洗布置等。在半導(dǎo)體制造的后期，指紋、助焊劑、焊錫、劃痕、污垢、灰塵、樹(shù)脂殘留物、自然氧化、有機(jī)物等都是原因。設(shè)備和材料表面會(huì)產(chǎn)生各種污漬，極大地影響包裝的制造和產(chǎn)品的質(zhì)量。

它的關(guān)鍵過(guò)程是：首先將清潔工件送入真空腔固定，真空泵等設(shè)備開(kāi)始抽真空排氣到大約10Pa；然后將低溫電漿清洗機(jī)清洗用的混合氣體(根據(jù)清潔材料的不同，選用的混合氣體也不同，如O2、H2、Ar、N2等)，并將壓力始終保持在一百Pa上下；在真空窒內(nèi)的電極片和保護(hù)接地之間施用高頻電壓，使混合氣體被擊穿，并憑借輝光放電使其發(fā)生離子化，并憑借輝光放電使其發(fā)生離子化，進(jìn)行等離子體；在真空窒內(nèi)進(jìn)行的等離子體覆蓋被清潔工件之后，開(kāi)始清潔作業(yè)，清潔過(guò)程持續(xù)數(shù)十秒到數(shù)分鐘。

如果您有更多等離子表面清洗設(shè)備相關(guān)問(wèn)題，歡迎您向我們提問(wèn)（廣東金徠科技有限公司）

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工件邊緣附著力問(wèn)題

隨著RGP以及角膜塑形鏡臨床用的日益普及，工件邊緣附著力硬鏡的護(hù)理變得非常的重要，目前硬鏡護(hù)理的手段主要是使用護(hù)理液進(jìn)行清洗和浸泡，這在鏡片的安全使用方面起了非常重要的作用。但是，無(wú)法解決隨著使用時(shí)間加長(zhǎng)，鏡片的物理特性減弱，配戴舒適度降低等問(wèn)題，并且鏡片表面有些雜質(zhì)護(hù)理液無(wú)法清除。