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然而,經(jīng)過20多年的理論和實(shí)驗(yàn)研究,人們不僅發(fā)展了許多等離子體化學(xué)氣相沉積制備金剛石薄膜的技術(shù),而且通過對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的分析和總結(jié),對(duì)影響金剛石薄膜生長(zhǎng)的因素也有了一定的認(rèn)識(shí)。對(duì)于多晶金剛石膜的生長(zhǎng),成核是關(guān)鍵,而影響成核的因素很多,包括等離子體條件、基質(zhì)數(shù)據(jù)、溫度等。
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