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2、氣動調(diào)壓閥:氣動調(diào)壓閥是氣動控制的重要器件，其作用是將外接的壓縮氣體控制在所需的工作壓力，并保其壓力和流量穩(wěn)定。無論是真空等離子清洗機(jī)還是大氣等離子清洗機(jī)，在氣體輸入時都會安裝氣動調(diào)壓閥，為保證氣體的潔凈度在使用時可加裝氣體過濾組件。下圖為調(diào)壓閥與過濾組件在大氣等離子清洗機(jī)中的應(yīng)用。為了方便查看氣體壓力，可在調(diào)壓閥上安裝壓力表或選用帶有壓力表的調(diào)壓閥。

等離子體清洗蝕刻生產(chǎn)等離子體的機(jī)器是將兩個電極設(shè)置在密封的容器中形成電磁場，用真空泵實現(xiàn)一定程度的真空，隨著氣體越來越稀薄，分子之間的距離以及分子或離子之間的移動距離越來越長。在磁場作用下，碰撞形成等離子體，同時會產(chǎn)生輝光。等離子機(jī)等離子在電磁場空間中運(yùn)動，轟擊被處理物體表面，以達(dá)到表面處理、清洗和蝕刻的效果。

等離子體是各種物質(zhì)存在的一種狀態(tài)，是與固體、液體、氣體等物質(zhì)存在形式相同的一種狀態(tài)，有人說等離子體是物質(zhì)的第四種狀態(tài)。事實上，太陽周圍和宇宙中的大多數(shù)物質(zhì)都以等離子體的形式存在。在生活中，我們也常見等離子體，最常見的是火焰，火焰可以看作是可燃物質(zhì)釋放能量，刺激空氣等揮發(fā)性氣體分解成等離子體狀態(tài)，是最原始和貫穿的人工等離子體。

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