等離子體處理技術(shù)是利用等離子體的特殊特性的具體應(yīng)用:等離子體處理系統(tǒng)生產(chǎn)的等離子體裝置是設(shè)置在一個(gè)密閉容器內(nèi)，不同材質(zhì)的附著力兩個(gè)電極用真空泵形成電場(chǎng)以達(dá)到一定的真空程度，隨著氣體變得越來(lái)越薄，分子間距和自由運(yùn)動(dòng)的分子或離子之間的距離也越來(lái)越長(zhǎng),電場(chǎng),它們碰撞,形成等離子體,這些離子的活性非常高,它的能量就足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,使化學(xué)反應(yīng)在任何暴露的表面,不同的氣體等離子體具有不同的化學(xué)性質(zhì)，如氧等離子體具有高氧化性，可以氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體，從而達(dá)到清洗的效果;腐蝕性氣體等離子體具有良好的各向異性，因此可以滿足腐蝕的需要。

等離子體裝置內(nèi)可能發(fā)生各種化學(xué)反應(yīng)，不同材質(zhì)的附著力主要與電子的平均勢(shì)能、電子密度、溫度、廢氣的分子濃度和共存氣體成分有關(guān)。非平衡等離子體處理污染控制技術(shù)：等離子輔助處理技術(shù)可以減少空氣污染對(duì)環(huán)境的危害。血漿功能產(chǎn)生更多的活性成分。等離子處理技術(shù)提供了比傳統(tǒng)熱激發(fā)技術(shù)更具反應(yīng)性的消化途徑。由于電子的勢(shì)能分布不平衡，與非平衡等離子體中重粒子的分布不同，可以認(rèn)為含電子氣體的溫度遠(yuǎn)高于氣體的溫度。含有中性粒子和離子。

廣泛應(yīng)用于手機(jī)電子、半導(dǎo)體等相對(duì)精細(xì)的配件表面處理。等離子清洗機(jī)雖然原理不同，硅膠在不同材質(zhì)上的附著力但在實(shí)際應(yīng)用中，由于每種材料的要求和特點(diǎn)，對(duì)應(yīng)的是每臺(tái)等離子清洗機(jī)的設(shè)計(jì)理念和清洗工藝是不一樣的，等離子清洗機(jī)是定制產(chǎn)品，主要根據(jù)客戶需要的清潔材料和具體的要求定做。在具體的使用上，也有一些特別注意的地方。機(jī)器安裝時(shí)，需要有本機(jī)器的技術(shù)人員再教你操作，弄清楚本機(jī)器的使用說(shuō)明和注意事項(xiàng)，設(shè)置清洗參數(shù)。

避免晶圓之間的相互污染。在 45nm 之前，硅膠在不同材質(zhì)上的附著力自動(dòng)清潔站能夠滿足清潔要求，并且至今仍在使用。 45nm以下工藝節(jié)點(diǎn)采用單片清洗設(shè)備，滿足清洗精度要求。隨著未來(lái)工藝節(jié)點(diǎn)的不斷減少，單晶圓清洗設(shè)備是當(dāng)今可預(yù)見技術(shù)中的主流清洗設(shè)備。

不同材質(zhì)的附著力

根據(jù)清潔劑的不同，可以選擇氧氣、氫氣、氬氣或氮?dú)庾鳛榉重悺?3、在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，通過(guò)輝光放電將氣體分解并電離，產(chǎn)生等離子體。待處理的工件完全包裹在真空室內(nèi)產(chǎn)生的等離子體中，開始清洗。一般來(lái)說(shuō)，清洗過(guò)程持續(xù)幾十秒到幾分鐘，這取決于材料和要求。 4、清洗后，切斷高頻電壓，用真空泵除去氣體和氣態(tài)污垢。等離子與工件表面的具體作用是：等離子體與工件表面的化學(xué)反應(yīng)與傳統(tǒng)的化學(xué)反應(yīng)有很大不同。

等離子體清洗是充分利用離子、電子器件、受激原子、氧自由基和所發(fā)射的光束與清潔表面的污染物分子結(jié)構(gòu)發(fā)生活化反應(yīng)，從而去除污染物。在等離子體清洗機(jī)中，電子設(shè)備與原子或分子結(jié)構(gòu)的碰撞也可以形成激發(fā)態(tài)的中性原子或自由基(也稱氧自由基)。這種激發(fā)態(tài)的原子或氧自由基與污染物的分子結(jié)構(gòu)出現(xiàn)活化反射，使污染物分離金屬表面。

離子清洗省了濕化學(xué)處理過(guò)程中不可缺少的干燥、廢水處理等工序；若與其它干處理工藝，例如輻射線，與電子束加工、電暈等相比，電漿清洗設(shè)備獨(dú)特的地方是，它對(duì)材質(zhì)的作用僅發(fā)生在其表面數(shù)十至數(shù)千埃厚度范圍內(nèi)，不僅改變了材質(zhì)的表面特性，而且不改變本體特性。 使用等離子轟擊物體表面，可以建立物體的表面腐蝕、激活和清洗等功能。

軔致輻射是自由電子與離子之間的碰撞，即電子在庫(kù)侖場(chǎng)中隨著離子速度的變化而產(chǎn)生的連續(xù)輻射。電子-電子碰撞不會(huì)改變電子的總動(dòng)量，因此不會(huì)產(chǎn)生軔致輻射。等離子體中的軔致輻射主要來(lái)自遠(yuǎn)碰撞，其波長(zhǎng)一般在紫外到x射線之間。對(duì)高溫等離子體來(lái)說(shuō)，輻射損耗是一個(gè)非常重要的問(wèn)題?；夭ㄝ椛?，又稱回旋加速輻射，是帶電粒子(主要是電子)圍繞磁力線旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的輻射。

硅膠在不同材質(zhì)上的附著力