-表面微刻蝕與等離子清洗機(jī)刻蝕：不同材料通過(guò)相應(yīng)的氣體組合形成強(qiáng)腐蝕性氣相等離子體，微弧氧化表面附著力與材料表面的本體反應(yīng)并物理撞擊，使材料表面的固體物質(zhì)氣化，產(chǎn)生CO.CO2.H2O等氣體，達(dá)到微刻蝕的目的。主要特點(diǎn)：腐蝕均勻，不改變材料基材性能；它能有效地對(duì)材料表面進(jìn)行微刻蝕，并對(duì)微刻蝕進(jìn)行控制。。
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第三個(gè)環(huán)節(jié)是優(yōu)化引線鍵合（打線） 芯片引線鍵合 集成電路引線鍵合的質(zhì)量對(duì)微電子器件的可靠性有決定性影響，微弧氧化表面附著力鍵合區(qū)必須無(wú)污染物并具有良好的鍵合特性。污染物的存在，如氧化物、有(機(jī))殘?jiān)榷紩?huì)嚴(yán)重削弱引線鍵合的拉力值。傳統(tǒng)的濕法清洗對(duì)鍵合區(qū)的污染物去除不徹底或者不能去除，而采用等離子清洗能有效去除鍵合區(qū)的表面沾污并使其表面活(化)，能明(顯)提高引線的鍵合拉力，極大的提高封裝器件的可靠性。
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通過(guò)活性等離子體在真空瞬時(shí)高溫條件下對(duì)孔壁中的鉆孔污染物、殘膠、油污等污染物做好物理轟擊和化學(xué)反應(yīng)，微弧氧化表面附著力使其部分蒸發(fā)或在高能離子體的沖擊下破碎，使被清洗物體的表面物質(zhì)變成顆粒和氣體物質(zhì)，通過(guò)抽真空排出，達(dá)到清洗目的。
對(duì)微弧氧化有附著力的底漆
低溫等離子體去除污染物的機(jī)理研究；在等離子體化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中，反應(yīng)過(guò)程中的能量由等離子體傳遞交付情況大致如下：（1）電場(chǎng)+電子&RARR；高能電子（2）高能電子+分子（或原子）&RARR；（激發(fā)態(tài)原子、激發(fā)態(tài)基團(tuán)、游離基團(tuán)）活性基團(tuán)（3）活性基團(tuán)+分子（原子）&RARR；產(chǎn)品+熱量（4）活性組+活性組&RARR；產(chǎn)品+熱量從上述過(guò)程可以看出，電子首先從電場(chǎng)中獲得能量，通過(guò)激發(fā)或電離將能量傳遞給分子或原子。
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如果等離子清洗機(jī)不放電或放電不穩(wěn)定，往往是由于等離子發(fā)生器的阻抗匹配造成的。等離子發(fā)生器傳輸能量時(shí)，如果反應(yīng)室和電極的阻抗（以下簡(jiǎn)稱負(fù)載）不等于傳輸線的特性阻抗，則在傳輸過(guò)程中會(huì)發(fā)生反射，部分能量是全部能量. 不被等離子等離子清洗機(jī)的負(fù)載所吸收，直接影響等離子表面處理的效果，而是因加熱而損失。
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