分別在脈沖電暈等離子體和無聲放電等離子體條件下實(shí)現(xiàn)了 CO2 重整的 CH4 反應(yīng)。直接法是將CH4和CO2一步制備C2烴，微波等離子體應(yīng)用在微波、流柱放電和高頻等離子體的作用下實(shí)現(xiàn)反應(yīng)。 Liu采用流柱排放法，以He為平衡氣體（總氣體流量的60%-80%），在特定排放功率下，根據(jù)CO2和CH4的不同摩爾比，甲烷轉(zhuǎn)化率為20 %.~80%，二氧化碳轉(zhuǎn)化率在8%~49%之間，C2烴收率在20%~45%之間。

然后和工作氣體一起去除。實(shí)踐證明，微波等離子體應(yīng)用該方法能有效去除硫酸陽極氧化膜表面的膠水轉(zhuǎn)移等污染。目前，等離子體處理已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和光電行業(yè)，并逐漸廣泛應(yīng)用于光學(xué)、機(jī)械、汽車、航天、聚合物和污染防治行業(yè)。近年來，等離子體處理技術(shù)已廣泛應(yīng)用于電子元器件制造、發(fā)光二極管包裝、集成電路包裝、多層陶瓷外殼處理、ABS塑料處理、微波管制造、汽車點(diǎn)火線圈框架處理和發(fā)動機(jī)油封片粘接處理。

3、航空航天---絕緣、電子元件等表面涂層的預(yù)處理4、電子設(shè)備---線路板的清洗和蝕刻。薄膜、PP和其他材料的非氧化和活化處理，微波等離子體應(yīng)用以提高可焊性5、金屬——去除金屬表面的油脂、油污、其他有機(jī)物和氧化層6、光電子領(lǐng)域---等離子刻蝕、等離子氣相沉積、原子層氣相沉積廣泛應(yīng)用于VCSEL、激光二極管、微透鏡、波導(dǎo)、單片微波集成電路（MMIC）等光電子器件的制造。

第二個(gè)影響的因素是電源1目前對于真空等離子清洗機(jī)常用的電源按頻率來分有--1中頻40KHZ 2射頻13.56MHZ 3微波2.45GHZ（對于商業(yè)應(yīng)用工廠生產(chǎn)來說就中頻和射頻2種，微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)因?yàn)槲⒉ㄊ降牡入x子目前真空腔體的體積做不大，技術(shù)還不夠成熟一般只能做到幾升的容積，用于試驗(yàn)室內(nèi)）2中頻電源在真空等離子清洗上被選用的基本上是真空腔體體積較大（一般大于200L，電極板數(shù)量較多，因?yàn)橄鄬τ谏漕l中頻在大功率電源比如5000W、10KW、20KW本身性能更穩(wěn)定、對于產(chǎn)生的等離子體中分子、離子獲得的動能更大、滲透性更好、偏重利用物理反應(yīng)3射頻電源在真空等離子清洗機(jī)上被選用的基本上是真空腔體體積較小的設(shè)備，相對于中頻來說因?yàn)樗l率高、雖然分子、離子獲得的動能沒有中頻的高但是就處理效率來講還是明顯優(yōu)于中頻而且其物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)都表現(xiàn)很好電源分國產(chǎn)電源和進(jìn)口電源，國產(chǎn)電源，和進(jìn)口電源的價(jià)格相差很大，這也是影響價(jià)格的一個(gè)重要要素3真空泵真空泵對真空等離子清洗機(jī)的真空度、抽真空時(shí)間以及整臺設(shè)備的處理效果都有重要影響，所以選擇合適的真空泵是對一臺真空等離子清洗機(jī)的品質(zhì)至關(guān)重要。

微波等離子體應(yīng)用

采用等離子體處理消聲瓦橡膠表面，其目的主要是在消聲瓦表面形成極性基團(tuán)，從而提高橡膠的表面能，減小接觸角，改善消聲瓦橡膠的表面濕潤性，另外等離子體處理溫度低，不影響基體，僅對表面進(jìn)行處理。消聲瓦橡膠的處理效果與等離子體工作參數(shù)的下列因素有關(guān)：微波輸入功率、氣壓處理時(shí)間氣氛和流量等。經(jīng)過不斷的實(shí)驗(yàn)，可以獲得處理消聲瓦橡膠表面的最佳工藝條件。接觸角是表面濕潤程度的一種度量。

5、多層柔性板渣、軟質(zhì)板渣、fr-4高厚比微孔去除（desmar）：改善孔與銅涂層之間的粘結(jié)，徹底去除渣，提高結(jié)合的可靠性，防止內(nèi)部鍍銅開路。6、銅沉積前用Ptfe高頻微波板孔壁表面進(jìn)行改性和活化。防焊和字符前板活化：有效防止焊接字符脫落。7、利用hdi板的通孔和盲/埋孔，從中去除碳化物。清洗不受孔徑控制，小于50微米的微孔效果更明顯。8、去除細(xì)線干膜殘留物（去除夾膜）。

多頭等離子處理器的等離子表面改性技術(shù)是利用物理手段對纖維表面進(jìn)行處理，實(shí)現(xiàn)化學(xué)處理效果的高科技技術(shù)。等離子表面改性采用干墻處理，節(jié)能節(jié)水，清潔高效，操作方便，易于控制，減少環(huán)境污染。由于這樣處理的織物只含有纖維的表面，不破壞纖維本身的性能，因此可以對纖維的表面性能進(jìn)行改性，以達(dá)到理想的應(yīng)用效果。這不僅保留了織物原有的優(yōu)點(diǎn)，而且提供了新的性能并消除了一些缺點(diǎn)。

應(yīng)用等離子技術(shù)對橡塑表面處理，其操作簡單，處理前后沒有有害物質(zhì)產(chǎn)生，處理效果好，效率高，運(yùn)行成本低。    等離子技術(shù)在橡膠、塑料行業(yè)的應(yīng)用等離子表面處理技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域包括橡膠、復(fù)合材料、玻璃、布料、金屬等，涉及各行各業(yè)，這篇文章中我們主要介紹其在橡膠、塑料領(lǐng)域一些行業(yè)的具體應(yīng)用。

微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

由于氣體粒子溫度較低（具有低溫特性），微波等離子體應(yīng)用因此把這種等離子體稱為低溫等離子體。當(dāng)氣體處于高壓狀態(tài)并從外界獲得大量能量時(shí)，粒子之間的相互碰撞頻率大大增加，各種微粒的溫度基本相同，即Te基本與Ti及Tn相同，我們把這種條件下得到的等離子體稱為高溫等離子體，太陽就是自己界中的高溫等離子體。由于高溫等離子體對物體表面的作用過于強(qiáng)強(qiáng)烈，因此在實(shí)際應(yīng)用中很少使用，目前投入使用的只有低溫等離子體。

但由于全谷物的種皮和胚芽，微波等離子體應(yīng)用存在加工難、成熟難、保質(zhì)期短等問題。全谷物的外表皮還可以附著或積聚真菌、霉菌毒素和農(nóng)藥殘留。沒關(guān)系吃。等離子體是一種準(zhǔn)中性電離氣體，可以通過系統(tǒng)中大量帶電和活性粒子的作用來處理樣品。這是近年來發(fā)展迅速并廣泛應(yīng)用于微電子領(lǐng)域的一種新型加工技術(shù)。材料加工、生物醫(yī)學(xué)裝備、航空航天等領(lǐng)域。