等離子體的殺菌和滅菌特性使等離子體應(yīng)用于生物材料設(shè)備制造或外科手術(shù)成為可能。與電子束滅菌相比，影響電暈處理效果的原因等離子滅菌成本較低；與環(huán)氧乙烷滅菌相比，等離子滅菌毒性較低。此外，等離子滅菌是在常溫下進(jìn)行的，因此材料不會(huì)受到蒸汽滅菌引起的熱和水解的影響。因此，等離子滅菌更適用于熱或輻射敏感材料。

在線等離子體清洗機(jī)中，影響電暈處理效果的原因?qū)蓚€(gè)電極置于密封容器中形成電場(chǎng)，使真空泵達(dá)到一定的真空度，氣體越來(lái)越稀薄，分子之間的距離越大，分子與離子的距離越遠(yuǎn)，在電場(chǎng)的影響下，它們會(huì)相互碰撞，形成高效的在線等離子體清洗機(jī)，其能量足以破壞所有化學(xué)鍵，任何暴露表面都可以發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；不同氣體的等離子體具有很強(qiáng)的氧化性能，如氧離子，可以將其氧化成氣體，具有清潔度。氣體等離子體具有良好的各向異性，滿足腐蝕要求。

等離子體清洗技術(shù)對(duì)工業(yè)經(jīng)濟(jì)和人類文明的影響最大，電暈處理打開(kāi)就是六個(gè)率先推動(dòng)電子信息產(chǎn)業(yè)，特別是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和光電產(chǎn)業(yè)。等離子清洗機(jī)已用于各種電子元器件的制造。我們可以肯定，沒(méi)有等離子清洗機(jī)及其清洗技術(shù)，就沒(méi)有今天如此發(fā)達(dá)的電子信息通信產(chǎn)業(yè)。

例如，電暈處理打開(kāi)就是六個(gè)氧等離子體的形成過(guò)程可用以下六個(gè)反應(yīng)方程式表示：第一個(gè)方程表示氧分子獲得外部能量后變成氧陽(yáng)離子并釋放自由電子的過(guò)程，第二個(gè)方程表示氧分子獲得外部能量后分解成兩個(gè)氧原子自由基的過(guò)程。第三個(gè)方程表示存在下列物質(zhì)時(shí)的氧分子高能量的受激自由電子被轉(zhuǎn)換成激發(fā)態(tài)。第四和第五反應(yīng)表明激發(fā)的氧分子發(fā)生了進(jìn)一步的轉(zhuǎn)變。在第四個(gè)反應(yīng)中，氧氣使大腦饑餓以恢復(fù)正常狀態(tài)，并發(fā)射光能（紫外線）。

影響電暈處理效果的原因

氧等離子體的形成過(guò)程可用以下六個(gè)反應(yīng)方程式表示：O2-O2+e(1)O2-2O(2)O2+E-O2+E(3)O2+E-O2+hv+e(4)O2+E-2O+e(5)O2+e--O+O++2E(6)第一個(gè)方程表示氧分子獲得外部能量后變成氧陽(yáng)離子，釋放自由電子的過(guò)程。第二個(gè)方程表示氧分子獲得外部能量后分解形成兩個(gè)氧原子自由基的過(guò)程。第三個(gè)方程表明氧分子在高能激發(fā)自由電子的作用下轉(zhuǎn)變?yōu)榧ぐl(fā)態(tài)。

離子的能量分布和入射角分布是可以改變的。低壓是等離子體的發(fā)展方向之一。在較低的壓力下，離子轟擊晶圓前的碰撞會(huì)減少，進(jìn)而減少散射碰撞，可以優(yōu)化離子入射角度，獲得更精確的刻蝕結(jié)果。4.遠(yuǎn)程等離子刻蝕機(jī)：等離子體的主要成分包括工會(huì)化氣體分子、帶電離子、電子和各種自由基。在與圖案轉(zhuǎn)移相關(guān)的傳統(tǒng)蝕刻工藝中，帶電離子體中的各種成分都很重要。

一方面，當(dāng)各種活性顆粒與被清洗物體表面相互接觸時(shí)，各種活性顆粒會(huì)與物體表面的雜質(zhì)、污垢發(fā)生反應(yīng)，形成揮發(fā)性氣體等物質(zhì)，然后揮發(fā)性物質(zhì)被真空泵吸走。例如，活性氧等離子體與材料表面的有機(jī)物反應(yīng)。另一方面，各種活性顆粒會(huì)轟擊清洗物料表面，使物料表面的污染雜質(zhì)隨氣流實(shí)現(xiàn)空泵抽吸。這種清洗方法不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，被清洗材料表面不留氧化物，可以很好地保留被清洗材料的純度，保證材料的各向異性。

通常情況下，物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊情況下，可以以第四種狀態(tài)存在，如太陽(yáng)表面的物質(zhì)、地球大氣層電離層的物質(zhì)等。這類物質(zhì)處于一種叫做等離子體態(tài)的狀態(tài)，也稱為物質(zhì)的第四態(tài)。等離子體中存在下列物質(zhì)；高速運(yùn)動(dòng)的電子；處于激發(fā)態(tài)的中性原子、分子和原子團(tuán)（自由基）；電離原子和分子；分子解離反應(yīng)過(guò)程中產(chǎn)生的紫外線；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)作為一個(gè)整體保持電中性。

電暈處理打開(kāi)就是六個(gè)

可以利用四氟化甲烷、六氟化硫、氟碳化合物等氟化物誘導(dǎo)表面結(jié)構(gòu)中的氫原子被氟原子取代，電暈處理打開(kāi)就是六個(gè)形成類似聚四氟乙烯的結(jié)構(gòu)，從而使材料表面疏水、化學(xué)惰性和化學(xué)高度穩(wěn)定。血漿表面修飾的另一個(gè)重要應(yīng)用是促進(jìn)細(xì)胞生長(zhǎng)或蛋白質(zhì)結(jié)合以減少血栓形成。氟化聚四氟乙烯涂層和從有機(jī)硅單體中提取的類似有機(jī)硅涂層是血液相容的。膜中的氟碳比、潤(rùn)濕性和存在形式明顯與纖維蛋白原的吸收和儲(chǔ)存密切相關(guān)。

等離子體表面活化/清洗；2.等離子體處理后的粘接；3.等離子體刻蝕/活化；4.等離子脫膠；5.等離子涂層（親水性、疏水性）；6.增強(qiáng)結(jié)合；7.等離子涂層；8.等離子體灰化和表面改性。通過(guò)等離子清洗機(jī)的處理，影響電暈處理效果的原因可以提高材料表面的潤(rùn)濕性，對(duì)各種材料進(jìn)行涂層和電鍍，增強(qiáng)附著力和結(jié)合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。