(3)電子遮蔽效應(Eletron Shading Effect)。等離子體中電子比離子的方向性更差,山西供應等離子清洗機腔體性價比高即 電子的入射角度分布比離子要大,更容易被光阻遮蔽,正離子聚集在蝕刻前端形成對器件 的正電勢。 (4)反向電子遮蔽效應(Reverse Electron Shading Effect)。 ESE發(fā)生在圖形密集區(qū)域, 如圖形間隔小于0.5μm。

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熱平衡下大氣壓力和溫度引起的氮等離子體電離 α 的變化: T / K α 300 10 ^ -122 5000 3.2 × 10 ^ -7 00 00 0.0065 15000 0.22 20000 0.82等離子體中的電離和復合之間存在平衡。當溫度為 T 時達到電離平衡時,山西供應等離子清洗機腔體優(yōu)質(zhì)服務電離度 α 與電離條件的關(guān)系可用 Saha 表示。

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結(jié)果表明,隨著等離子表面處理儀處理用時的延長,放電功率增加,產(chǎn)生的自由基強度增加,達到大值后進入一種動態(tài)平衡狀態(tài);當放電壓力達到一定值時,自由基強度會出現(xiàn)一個大值,即在一定的條件下,低溫等離子體對聚合物表面的反應程度深。2)等離子表面處理儀有機會產(chǎn)生臭氧? 會產(chǎn)生少量,等離子表面處理是一種“潔凈”處理工藝,由于離子化空氣(O3)的存在,在需要時可配置排風系統(tǒng)來排出臭氧。

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