等離子體清洗作為一種先進(jìn)的干洗技術(shù)，電暈放電處理方法具有環(huán)保等特點(diǎn)。隨著微電子工業(yè)的迅速發(fā)展，等離子體清洗機(jī)也越來(lái)越多地應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)。半導(dǎo)體污染雜質(zhì)與分類(lèi)半導(dǎo)體制造中需要一些有機(jī)和無(wú)機(jī)物。此外，由于工藝始終由人在潔凈室進(jìn)行，半導(dǎo)體晶圓不可避免地受到各種雜質(zhì)的污染。根據(jù)污染物的來(lái)源和性質(zhì)，大致可分為顆粒物、有機(jī)物、金屬離子和氧化物四大類(lèi)。1.1粒子顆粒主要是聚合物、光刻膠和蝕刻雜質(zhì)。

聚合：許多乙烯基單體，電暈放電處理方法如乙烯、苯乙烯，在等離子體條件下不需要任何其他催化劑和引發(fā)劑就可以在工件表面聚合，甚至在常規(guī)聚合條件下無(wú)法聚合的甲烷、乙烷和苯，在等離子體條件下也可以在工件表面交聯(lián)聚合。這種聚合物層可以非常致密，并與基底結(jié)合得非常強(qiáng)。在國(guó)外，塑料啤酒瓶和汽車(chē)油箱在如此致密的層上采用等離子聚合，以防止痕跡泄漏。高分子生物醫(yī)用材料表面還可以防止塑料中的增塑劑等有毒物質(zhì)通過(guò)這一致密層擴(kuò)散到人體組織。。

在這一過(guò)程中，電暈放電處理方法等離子體還產(chǎn)生高能紫外光，與快速產(chǎn)生的離子和電子一起，提供中斷聚合物鍵合和產(chǎn)生表面化學(xué)反應(yīng)所需的能量。在這一化學(xué)過(guò)程中，只有材料表面的少數(shù)原子層參與，聚合物的本體性質(zhì)保持不變。選擇合適的反應(yīng)氣體和工藝參數(shù)可以促進(jìn)某些特定的反應(yīng)，從而形成特殊的聚合物附著物和結(jié)構(gòu)。可以選擇反應(yīng)物使等離子體與底物反應(yīng)以形成揮發(fā)性附著體。

1常壓等離子體清洗機(jī)流量控制器的選擇根據(jù)放電形式的不同，聚合物的電暈放電處理方法常壓等離子體清洗機(jī)放電所需的氣體條件也有其特殊性。對(duì)于普通射流型和射頻型，應(yīng)引入滿(mǎn)足一定壓力和流量要求的壓縮空氣(CDA)，產(chǎn)生穩(wěn)定的等離子體，以保證設(shè)備正常運(yùn)行。通常流量控制方法是調(diào)壓閥和手動(dòng)浮子流量計(jì)配合，以保證工作氣壓和氣流的穩(wěn)定。建議選用帶有流量控制器的專(zhuān)用氣源，以提供穩(wěn)定的工作氣體。本裝置的優(yōu)點(diǎn)是攜帶方便，氣源干燥潔凈，壓力流量連續(xù)穩(wěn)定。

電暈放電處理方法

必須在不破壞其表面特性和電性能的前提下有效去除各種污垢。目前廣泛使用的等離子體清洗方法主要有濕法和干法?？紤]到環(huán)境因素、原料消耗和未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)，濕式清洗有很大局限性，干洗明顯優(yōu)于濕法清洗。在這些方面，等離子體清洗發(fā)展迅速，優(yōu)勢(shì)明顯。等離子體是一種電離氣體，如電子、離子、原子、分子或自由基的集合。

可提高整個(gè)工藝流程的處理效率；B、等離子設(shè)備的清洗可以保護(hù)用戶(hù)免受有影響的化學(xué)溶液的破壞，同時(shí)盡可能避免濕法清洗時(shí)物體容易清洗的問(wèn)題；C、盡量避免選擇有ODS影響的化學(xué)溶液，如三氯乙烷，清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害物質(zhì)，所以這種清洗方法屬于環(huán)保綠色清洗方法。隨著世界對(duì)環(huán)境保護(hù)的高度重視，其重要性更加凸顯；D、利用無(wú)線(xiàn)電波范圍內(nèi)的高頻產(chǎn)生不同于直射光的等離子體。

化學(xué)加工方法：金屬鈉和萘在非水溶劑如四氫呋喃或乙二醇二甲醚的溶液中反應(yīng)，形成萘-鈉絡(luò)合物，鈉-萘處理液可蝕刻孔內(nèi)聚四氟乙烯的表面原子，從而達(dá)到潤(rùn)濕孔壁的目的。這是一種效果好、質(zhì)量穩(wěn)定的典型方法，目前應(yīng)用廣泛。（2）孔壁凹蝕/孔壁樹(shù)脂鉆漬去除：對(duì)于FR-4多層印制電路板加工、數(shù)控鉆孔后孔壁上樹(shù)脂鉆孔污垢等物質(zhì)的去除，通常采用濃硫酸處理、鉻酸處理、堿性高錳酸鉀處理和等離子體處理。

Plasmacleaner又稱(chēng)等離子體表面處理器，是一項(xiàng)高科技技術(shù)，利用等離子體達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫物質(zhì)的第四狀態(tài)。施加足夠的能量使氣體電離，就變成了等離子體狀態(tài)。血漿&ldquo；活動(dòng)&rdquo；成分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等，低溫等離子體清洗機(jī)就是利用這些活性成分的性質(zhì)對(duì)樣品表面進(jìn)行處理，從而達(dá)到清洗等目的。

聚合物的電暈放電處理方法

事實(shí)上，電暈放電處理方法不僅耳機(jī)和麥克風(fēng)可以使用等離子清洗機(jī)來(lái)改善（升級(jí)）產(chǎn)品質(zhì)量，很多其他聲學(xué)設(shè)備也可以使用等離子表面處理技術(shù)。。耳機(jī)聽(tīng)筒的振膜通過(guò)等離子設(shè)備可以有效提高粘接效果（果），耳機(jī)中的振膜非常薄，很難粘接，過(guò)去我們通常會(huì)采用一些化學(xué)處理的方法來(lái)改善粘接效果（果），但這類(lèi)方法會(huì)改變振膜的材質(zhì)和特性，進(jìn)而對(duì)耳機(jī)聽(tīng)筒的整體音效（果）產(chǎn)生影響，導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量不高，使用壽命難以保證。