等離子體清洗作為一種先進的干洗技術(shù)，電暈放電處理方法具有環(huán)保等特點。隨著微電子工業(yè)的迅速發(fā)展，等離子體清洗機也越來越多地應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)。半導(dǎo)體污染雜質(zhì)與分類半導(dǎo)體制造中需要一些有機和無機物。此外，由于工藝始終由人在潔凈室進行，半導(dǎo)體晶圓不可避免地受到各種雜質(zhì)的污染。根據(jù)污染物的來源和性質(zhì)，大致可分為顆粒物、有機物、金屬離子和氧化物四大類。1.1粒子顆粒主要是聚合物、光刻膠和蝕刻雜質(zhì)。

聚合：許多乙烯基單體，電暈放電處理方法如乙烯、苯乙烯，在等離子體條件下不需要任何其他催化劑和引發(fā)劑就可以在工件表面聚合，甚至在常規(guī)聚合條件下無法聚合的甲烷、乙烷和苯，在等離子體條件下也可以在工件表面交聯(lián)聚合。這種聚合物層可以非常致密，并與基底結(jié)合得非常強。在國外，塑料啤酒瓶和汽車油箱在如此致密的層上采用等離子聚合，以防止痕跡泄漏。高分子生物醫(yī)用材料表面還可以防止塑料中的增塑劑等有毒物質(zhì)通過這一致密層擴散到人體組織。。

在這一過程中，電暈放電處理方法等離子體還產(chǎn)生高能紫外光，與快速產(chǎn)生的離子和電子一起，提供中斷聚合物鍵合和產(chǎn)生表面化學(xué)反應(yīng)所需的能量。在這一化學(xué)過程中，只有材料表面的少數(shù)原子層參與，聚合物的本體性質(zhì)保持不變。選擇合適的反應(yīng)氣體和工藝參數(shù)可以促進某些特定的反應(yīng)，從而形成特殊的聚合物附著物和結(jié)構(gòu)?？梢赃x擇反應(yīng)物使等離子體與底物反應(yīng)以形成揮發(fā)性附著體。

1常壓等離子體清洗機流量控制器的選擇根據(jù)放電形式的不同，聚合物的電暈放電處理方法常壓等離子體清洗機放電所需的氣體條件也有其特殊性。對于普通射流型和射頻型，應(yīng)引入滿足一定壓力和流量要求的壓縮空氣(CDA)，產(chǎn)生穩(wěn)定的等離子體，以保證設(shè)備正常運行。通常流量控制方法是調(diào)壓閥和手動浮子流量計配合，以保證工作氣壓和氣流的穩(wěn)定。建議選用帶有流量控制器的專用氣源，以提供穩(wěn)定的工作氣體。本裝置的優(yōu)點是攜帶方便，氣源干燥潔凈，壓力流量連續(xù)穩(wěn)定。

電暈放電處理方法

必須在不破壞其表面特性和電性能的前提下有效去除各種污垢。目前廣泛使用的等離子體清洗方法主要有濕法和干法。考慮到環(huán)境因素、原料消耗和未來發(fā)展趨勢，濕式清洗有很大局限性，干洗明顯優(yōu)于濕法清洗。在這些方面，等離子體清洗發(fā)展迅速，優(yōu)勢明顯。等離子體是一種電離氣體，如電子、離子、原子、分子或自由基的集合。

可提高整個工藝流程的處理效率；B、等離子設(shè)備的清洗可以保護用戶免受有影響的化學(xué)溶液的破壞，同時盡可能避免濕法清洗時物體容易清洗的問題；C、盡量避免選擇有ODS影響的化學(xué)溶液，如三氯乙烷，清洗后不會產(chǎn)生有害物質(zhì)，所以這種清洗方法屬于環(huán)保綠色清洗方法。隨著世界對環(huán)境保護的高度重視，其重要性更加凸顯；D、利用無線電波范圍內(nèi)的高頻產(chǎn)生不同于直射光的等離子體。

化學(xué)加工方法：金屬鈉和萘在非水溶劑如四氫呋喃或乙二醇二甲醚的溶液中反應(yīng)，形成萘-鈉絡(luò)合物，鈉-萘處理液可蝕刻孔內(nèi)聚四氟乙烯的表面原子，從而達到潤濕孔壁的目的。這是一種效果好、質(zhì)量穩(wěn)定的典型方法，目前應(yīng)用廣泛。（2）孔壁凹蝕/孔壁樹脂鉆漬去除：對于FR-4多層印制電路板加工、數(shù)控鉆孔后孔壁上樹脂鉆孔污垢等物質(zhì)的去除，通常采用濃硫酸處理、鉻酸處理、堿性高錳酸鉀處理和等離子體處理。

Plasmacleaner又稱等離子體表面處理器，是一項高科技技術(shù)，利用等離子體達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫物質(zhì)的第四狀態(tài)。施加足夠的能量使氣體電離，就變成了等離子體狀態(tài)。血漿&ldquo；活動&rdquo；成分包括：離子、電子、活性基團、激發(fā)核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等，低溫等離子體清洗機就是利用這些活性成分的性質(zhì)對樣品表面進行處理，從而達到清洗等目的。

聚合物的電暈放電處理方法

事實上，電暈放電處理方法不僅耳機和麥克風可以使用等離子清洗機來改善（升級）產(chǎn)品質(zhì)量，很多其他聲學(xué)設(shè)備也可以使用等離子表面處理技術(shù)。。耳機聽筒的振膜通過等離子設(shè)備可以有效提高粘接效果（果），耳機中的振膜非常薄，很難粘接，過去我們通常會采用一些化學(xué)處理的方法來改善粘接效果（果），但這類方法會改變振膜的材質(zhì)和特性，進而對耳機聽筒的整體音效（果）產(chǎn)生影響，導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量不高，使用壽命難以保證。