2.致密涂層和高粘合強(qiáng)度（與火焰噴涂相比）等離子噴涂可以增加粉末的動(dòng)能，高能束表面改性與涂層制備由于粉末溫度高，熱噴涂得到的涂層密度一般為90。 %-98%之間，粘結(jié)強(qiáng)度可達(dá)65-70 MPa。 3.如果等離子噴涂對(duì)所用熱量影響不大，則熱噴涂后的基體結(jié)構(gòu)不會(huì)發(fā)生變化，工件幾乎不會(huì)變形。四。高效率等離子噴涂的使用提高了生產(chǎn)效率。采用高能等離子噴涂，粉末沉積速率達(dá)到8Kg/h。

流出的污染與這種較高能的活性官能團(tuán)反應(yīng)，高能束表面改性轉(zhuǎn)變成為二氧化碳和H2O，進(jìn)而起到凈化廢氣的目的。作為一種新型的氣態(tài)污染處理技術(shù)，DDBD雙物質(zhì)阻攔放電低溫等離子體工業(yè)廢氣處理裝置和技術(shù)是集物理、化學(xué)、生物和環(huán)境科學(xué)于一體的交叉綜合電子器件化學(xué)技術(shù)。它是目前國內(nèi)外空氣污染控制中較有前途、較有效的技術(shù)方式之一，具有廣闊的應(yīng)用和推廣前景，為工業(yè)領(lǐng)域惡臭氣體的控制開辟了新的思路。

. ，高能束表面改性遠(yuǎn)低于高能放射線，高能放射線只包含材料表面，不影響基體性能。在非熱力學(xué)平衡的冷等離子體中，電子具有很高的能量，可以破壞材料表面分子的化學(xué)鍵，提高粒子的化學(xué)反應(yīng)性，但中性粒子的溫度就是這些。優(yōu)點(diǎn)是熱敏聚合物, 表面改性提供了合適的條件。等離子對(duì)塑料和橡膠材料進(jìn)行表面改性低溫等離子表面處理使材料表面發(fā)生各種物理和化學(xué)變化，發(fā)生蝕刻并變得粗糙，形成高密度的橋接層?；蛘咭牒鯓O性基團(tuán)。

揮發(fā)性有機(jī)污染物的分解（VOCS）傳統(tǒng)的處理方法，高能束表面改性與涂層制備如吸收、吸附、冷凝和燃燒等低溫等離子技術(shù)在氣態(tài)污染物的治理方面具有顯著優(yōu)勢(shì)。其基本原理是通過電場(chǎng)的加速作用產(chǎn)生高能電子，當(dāng)電子的平均能量超過目標(biāo)物質(zhì)分子的化學(xué)鍵能時(shí)，分子鍵斷裂并被除去。氣態(tài)污染物。傳統(tǒng)意義上的等離子體是具有大量電離的中性氣體。隨著氣體溫度的升高，粒子的熱動(dòng)能可以與氣體的電離能相比較，粒子之間的碰撞會(huì)導(dǎo)致許多電離過程。

高能束表面改性

等離子體表面處理器的等離子體狀態(tài)是除固體、液體和氣體外的物質(zhì)狀態(tài)。當(dāng)更多的能量供給氣體時(shí)，氣體就會(huì)電離，進(jìn)入高能正負(fù)離子相等的狀態(tài)。它由電離的導(dǎo)電氣體組成，包括六種典型粒子，即電子、正離子、負(fù)離子、激發(fā)態(tài)的原子或分子、基態(tài)的原子或分子和光子。等離子體表面處理的保險(xiǎn)杠可防水防霧。裸片IC的COG制程安裝在等離子清潔器技術(shù)玻璃基板(LCD)上；等離子清洗機(jī)技術(shù)廣泛應(yīng)用于芯片、IC、LCD、手機(jī)玻璃等行業(yè)。

對(duì)于電子回旋共振等離子體和直流電流等離子體，中性粒子束由正離子電荷轉(zhuǎn)移形成，中和效率較低（約60%)，而粒子束能量很高(>eV)。這種低中和、低通量、高能粒子束導(dǎo)致蝕刻速率和蝕刻選擇性比低，因此不適用于蝕刻工藝。與前兩種方法不同，對(duì)于等離子體表面處理器的電感耦合等離子體加平行碳板法，中性粒子束是通過電子與負(fù)離子分離形成的。

因此，非平衡等離子體實(shí)際上可以將電能轉(zhuǎn)化為工作氣體的化學(xué)能和內(nèi)能，可用于對(duì)材料進(jìn)行表面改造。等離子體鞘層對(duì)材料表面的改性起著重要作用，因?yàn)榍蕦訁^(qū)域的電場(chǎng)可以將電源的電場(chǎng)能轉(zhuǎn)化為離子與材料表面碰撞的動(dòng)能。離子與材料表面碰撞的能量是材料表面改性的主要工藝參數(shù)，這種能量很容易提高到小分子和固體原子結(jié)合能的數(shù)千倍。

經(jīng)過上述處理后，對(duì)材料表面進(jìn)行改性，提高材料分子的附著力，提高材料加工轉(zhuǎn)化的便利性。一般來說，一個(gè)產(chǎn)品的表面不太容易膠合和印刷圖形。經(jīng)過等離子表面改性處理后，這部分產(chǎn)品的外觀可以描述，更容易加工。。等離子表面改性-等離子設(shè)備/等離子清洗機(jī)進(jìn)行了幾處改變等離子表面改性是等離子材料與其他材料表面、等離子化學(xué)和等離子物理相互作用的過程，它是為兩個(gè)過程而設(shè)計(jì)的。通俗地說，等離子材料的各種活性粒子在材料表面相互碰撞。

高能束表面改性與涂層制備

  正是由于它擁有這些特點(diǎn)，高能束表面改性與涂層制備使得等離子清洗機(jī)設(shè)備在等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場(chǎng)合中有十分廣泛的應(yīng)用，并且通過它的處理之后，可以有效的改善材料表面的潤濕能力，從而使多種材料都能夠進(jìn)行涂覆和電鍍等操作，增強(qiáng)粘合能力和鍵合力，同時(shí)還可以將有機(jī)污染物、油污或者是油脂清除干凈，作用非常多。。

鑒于在這種聚集態(tài)中，高能束表面改性電子的負(fù)電荷總數(shù)和離子的正電荷總數(shù)在數(shù)值上相等，所以等離子體在宏觀上呈電中性。當(dāng)前常用低溫等離子體發(fā)射源可分為：容性耦合射頻源、感性耦合射頻源、微波電子回旋共振源和螺旋波源。其中，容性耦合射頻（CCP）源的結(jié)構(gòu)簡單、能在低輸入功率下產(chǎn)生大面積低溫等離子體，從而被優(yōu)先選擇于制備低溫等離子。