2.致密涂層和高粘合強度（與火焰噴涂相比）等離子噴涂可以增加粉末的動能，高能束表面改性與涂層制備由于粉末溫度高，熱噴涂得到的涂層密度一般為90。 %-98%之間，粘結(jié)強度可達(dá)65-70 MPa。 3.如果等離子噴涂對所用熱量影響不大，則熱噴涂后的基體結(jié)構(gòu)不會發(fā)生變化，工件幾乎不會變形。四。高效率等離子噴涂的使用提高了生產(chǎn)效率。采用高能等離子噴涂，粉末沉積速率達(dá)到8Kg/h。

流出的污染與這種較高能的活性官能團反應(yīng)，高能束表面改性轉(zhuǎn)變成為二氧化碳和H2O，進而起到凈化廢氣的目的。作為一種新型的氣態(tài)污染處理技術(shù)，DDBD雙物質(zhì)阻攔放電低溫等離子體工業(yè)廢氣處理裝置和技術(shù)是集物理、化學(xué)、生物和環(huán)境科學(xué)于一體的交叉綜合電子器件化學(xué)技術(shù)。它是目前國內(nèi)外空氣污染控制中較有前途、較有效的技術(shù)方式之一，具有廣闊的應(yīng)用和推廣前景，為工業(yè)領(lǐng)域惡臭氣體的控制開辟了新的思路。

. ，高能束表面改性遠(yuǎn)低于高能放射線，高能放射線只包含材料表面，不影響基體性能。在非熱力學(xué)平衡的冷等離子體中，電子具有很高的能量，可以破壞材料表面分子的化學(xué)鍵，提高粒子的化學(xué)反應(yīng)性，但中性粒子的溫度就是這些。優(yōu)點是熱敏聚合物, 表面改性提供了合適的條件。等離子對塑料和橡膠材料進行表面改性低溫等離子表面處理使材料表面發(fā)生各種物理和化學(xué)變化，發(fā)生蝕刻并變得粗糙，形成高密度的橋接層。或者引入含氧極性基團。

揮發(fā)性有機污染物的分解（VOCS）傳統(tǒng)的處理方法，高能束表面改性與涂層制備如吸收、吸附、冷凝和燃燒等低溫等離子技術(shù)在氣態(tài)污染物的治理方面具有顯著優(yōu)勢。其基本原理是通過電場的加速作用產(chǎn)生高能電子，當(dāng)電子的平均能量超過目標(biāo)物質(zhì)分子的化學(xué)鍵能時，分子鍵斷裂并被除去。氣態(tài)污染物。傳統(tǒng)意義上的等離子體是具有大量電離的中性氣體。隨著氣體溫度的升高，粒子的熱動能可以與氣體的電離能相比較，粒子之間的碰撞會導(dǎo)致許多電離過程。

高能束表面改性

等離子體表面處理器的等離子體狀態(tài)是除固體、液體和氣體外的物質(zhì)狀態(tài)。當(dāng)更多的能量供給氣體時，氣體就會電離，進入高能正負(fù)離子相等的狀態(tài)。它由電離的導(dǎo)電氣體組成，包括六種典型粒子，即電子、正離子、負(fù)離子、激發(fā)態(tài)的原子或分子、基態(tài)的原子或分子和光子。等離子體表面處理的保險杠可防水防霧。裸片IC的COG制程安裝在等離子清潔器技術(shù)玻璃基板(LCD)上；等離子清洗機技術(shù)廣泛應(yīng)用于芯片、IC、LCD、手機玻璃等行業(yè)。

對于電子回旋共振等離子體和直流電流等離子體，中性粒子束由正離子電荷轉(zhuǎn)移形成，中和效率較低（約60%)，而粒子束能量很高(>eV)。這種低中和、低通量、高能粒子束導(dǎo)致蝕刻速率和蝕刻選擇性比低，因此不適用于蝕刻工藝。與前兩種方法不同，對于等離子體表面處理器的電感耦合等離子體加平行碳板法，中性粒子束是通過電子與負(fù)離子分離形成的。

因此，非平衡等離子體實際上可以將電能轉(zhuǎn)化為工作氣體的化學(xué)能和內(nèi)能，可用于對材料進行表面改造。等離子體鞘層對材料表面的改性起著重要作用，因為鞘層區(qū)域的電場可以將電源的電場能轉(zhuǎn)化為離子與材料表面碰撞的動能。離子與材料表面碰撞的能量是材料表面改性的主要工藝參數(shù)，這種能量很容易提高到小分子和固體原子結(jié)合能的數(shù)千倍。

經(jīng)過上述處理后，對材料表面進行改性，提高材料分子的附著力，提高材料加工轉(zhuǎn)化的便利性。一般來說，一個產(chǎn)品的表面不太容易膠合和印刷圖形。經(jīng)過等離子表面改性處理后，這部分產(chǎn)品的外觀可以描述，更容易加工。。等離子表面改性-等離子設(shè)備/等離子清洗機進行了幾處改變等離子表面改性是等離子材料與其他材料表面、等離子化學(xué)和等離子物理相互作用的過程，它是為兩個過程而設(shè)計的。通俗地說，等離子材料的各種活性粒子在材料表面相互碰撞。

高能束表面改性與涂層制備

  正是由于它擁有這些特點，高能束表面改性與涂層制備使得等離子清洗機設(shè)備在等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場合中有十分廣泛的應(yīng)用，并且通過它的處理之后，可以有效的改善材料表面的潤濕能力，從而使多種材料都能夠進行涂覆和電鍍等操作，增強粘合能力和鍵合力，同時還可以將有機污染物、油污或者是油脂清除干凈，作用非常多。。

鑒于在這種聚集態(tài)中，高能束表面改性電子的負(fù)電荷總數(shù)和離子的正電荷總數(shù)在數(shù)值上相等，所以等離子體在宏觀上呈電中性。當(dāng)前常用低溫等離子體發(fā)射源可分為：容性耦合射頻源、感性耦合射頻源、微波電子回旋共振源和螺旋波源。其中，容性耦合射頻（CCP）源的結(jié)構(gòu)簡單、能在低輸入功率下產(chǎn)生大面積低溫等離子體，從而被優(yōu)先選擇于制備低溫等離子。