清洗過程分五個步驟：等離子產(chǎn)生，鍍鋅附著力與鋅純度關(guān)系等離子向物體表面擴散，和被清洗材料發(fā)生反應(yīng)，得到易揮發(fā)的產(chǎn)物，脫離材料表面，產(chǎn)物被抽走。
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因此，鍍鋅附著力試驗步驟如果發(fā)現(xiàn)等離子體表面墊圈的側(cè)壁蝕刻的主蝕刻步驟的終點監(jiān)測被暴露，則立即停止蝕刻并切換過蝕刻步驟。主刻蝕步驟中殘留的氮化硅膜通過過刻蝕步驟被刻蝕去除，同時停止在氧化硅膜上，以防止損壞下面的硅襯底。過蝕刻步驟通常使用 CH3F 或 CH2F2 和 O2 氣體的組合。 CH3F 氣體分解為 CHx 和 F. + H。等離子體中的撞擊離子會破壞 Si-O 鍵。
循環(huán)過程 還原過程單方面需要數(shù)百納米。蝕刻氣體，鍍鋅附著力試驗步驟主要是 O2，通常用于實現(xiàn)足夠高的還原率。在循環(huán)刻蝕過程中，SiO2和Si3N4同時被刻蝕，并停止在下SiO2表面。由于需要選擇比，通常將其分解為 SiO2。蝕刻（相對低的選擇性）步驟和 Si3N4 蝕刻。后者需要對 SiO2 具有高選擇性，以便在下面的 SiO2 表面停止。
在線等離子清洗機等離子清洗在LED封裝工藝中的應(yīng)用：發(fā)光二極管 (LED)一般用作指示燈、顯示板，鍍鋅附著力試驗步驟它不但能夠高效率地直接將電能轉(zhuǎn)化為光能，而且擁有長達數(shù)萬小時至數(shù)十萬小時的使用壽命，同時具備不易碎省電等優(yōu)點。。在線等離子清洗機的清洗原理： 等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。
鍍鋅附著力試驗步驟
從力學(xué)的角度來看，等離子清洗一般包括以下過程：將無機氣體激發(fā)成等離子狀態(tài)；將氣相物質(zhì)吸附到固體表面；吸附基團與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子。將產(chǎn)物分子分解成氣體的相；從表面去除反應(yīng)殘留物。
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用氧氣等離子清洗，其中氧氣主要與污染物發(fā)生氧化反應(yīng)，特別是對有機污染物效果尤為明顯，清洗過程反應(yīng)式如下：O2*+有機物→CO2 +H2O （4）式（4）表明，處于激發(fā)態(tài)的氧氣分子與有機物發(fā)生反應(yīng)，生成CO2和水蒸氣，對有機污染物比較有效。另一方面，由于O2作為典型的反應(yīng)性氣體，本身具有很強的化學(xué)活性，可直接與聚合物表面的分子鏈結(jié)合，改變材料表面的化學(xué)組成和性質(zhì)。
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