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等離子體對材料的改性實(shí)際上是等離子體與材料表面相互作用的過程。這個(gè)過程主要包括蝕刻材料表面、交聯(lián)分子鏈和引入極性官能團(tuán)。發(fā)生。高活性等離子體電離或激發(fā)空氣中的許多分子（H2O、O2、N2 等），形成顆粒產(chǎn)物（N2、O2、O、H、紫外線等）。在此過程中，引入高能量并擊中 PI 膜，同時(shí) PI 膜發(fā)生交聯(lián)或蝕刻，去除其表面非晶區(qū)的惰性材料，露出活性基團(tuán)。

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