等離子表面處理設(shè)備在汽車(chē)工業(yè)中的應(yīng)用已廣泛應(yīng)用于汽車(chē)車(chē)燈、各種橡膠密封件、內(nèi)飾、剎車(chē)塊、雨刷、油封、儀表盤(pán)、安全氣囊、保險(xiǎn)杠、天線、發(fā)動(dòng)機(jī)密封、GPS、DVD、儀表、傳感器、汽車(chē)車(chē)門(mén)密封等。
【真空等離子體處理設(shè)備】表面等離子體基本原理:表面等離子體(Surface Plasmons, SPs)是指自由振蕩的電子與光子相互作用而產(chǎn)生的沿金屬表面?zhèn)鞑サ碾娮用芏炔?。其物理原理如?如圖所示,環(huán)氧樹(shù)脂與ps附著力在兩個(gè)半無(wú)限各向同性介質(zhì)的界面處,介質(zhì)的介電常數(shù)為正實(shí)數(shù),金屬的介電常數(shù)為實(shí)部為負(fù)的復(fù)數(shù)。根據(jù)麥克斯韋方程,結(jié)合邊界條件和材料性質(zhì),計(jì)算表面等離子體的場(chǎng)分布和色散特性。
根據(jù) Allied Market Research 的數(shù)據(jù),環(huán)氧樹(shù)脂與ps附著力對(duì)高品質(zhì)音頻的需求正在推動(dòng) D 類音頻放大器市場(chǎng)的增長(zhǎng),預(yù)計(jì)到 2026 年該市場(chǎng)將從 2018 年的 24.9 億美元增長(zhǎng)到 49.2 億美元。使用 GaN,配套的 SMPS 設(shè)計(jì)非常高效,并且無(wú)需散熱器即可運(yùn)行。這些功能使音頻設(shè)計(jì)工程師能夠縮短產(chǎn)品上市時(shí)間,并以可承受的價(jià)格創(chuàng)造出高質(zhì)量的音頻產(chǎn)品。
兩支光電倍增管(T1,T2)分別置于高壓電極的兩側(cè),環(huán)氧樹(shù)脂與ps附著力距電極邊緣0.5cm。示波器同時(shí)記錄下光電倍增管的光電流信號(hào)以及放電時(shí)的電流、電壓信號(hào)。借助該實(shí)驗(yàn)裝置,我們能夠得到在外加電壓約為2.25kV時(shí)放電形成的光信號(hào)以及電壓、電流的時(shí)域變化的曲線如下圖:從電流曲線能夠看得出,這時(shí)候放電處在流注模式。T1、T2光信號(hào)曲線在正半周和負(fù)半周都基本上是重合的。正半周時(shí),光信號(hào)的前沿超前電流脈沖信號(hào)前沿約5μs。
環(huán)氧樹(shù)脂與ps附著力
等離子體有別于固體、液體、氣體三態(tài)物質(zhì), 是宇宙中最廣泛存在的物質(zhì)狀態(tài), 稱為物質(zhì)的第四態(tài)。 等離子體含有各類活性粒子, 如離子、電子、自由基、激發(fā)分子、紫外光等。
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在60到90度之間的溫度比在環(huán)境溫度下的等離子腐蝕速度快四倍。對(duì)于溫度敏感元件或使用溫度敏感元件,等離子蝕刻可以降低到15攝氏度。所有溫度控制系統(tǒng)都預(yù)先編程并集成到軟件中。在空腔中引入不同的氣體可以修改工藝。常見(jiàn)氣體有O2、N2、Ar、H2和CF4。大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室單獨(dú)或組合使用這五種氣體用于真空等離子體清洗設(shè)備。真空等離子體清洗設(shè)備在半導(dǎo)體封裝中可以說(shuō)是無(wú)處不在。
在等離子體中,由于電子比重粒子移動(dòng)得快,絕緣體表面產(chǎn)生負(fù)電荷的凈積累,即絕緣體表面相對(duì)于等離子體區(qū)域具有負(fù)電位。表面區(qū)域的負(fù)電位將排斥隨后向表面移動(dòng)的電子,并吸引正離子,直到它們耗盡邊緣表面的負(fù)電位達(dá)到一定的值,使離子流與電子流相等。此時(shí)絕緣子表面電位Vf趨于穩(wěn)定,Vf與等離子體電位(VP-VF)的差值保持不變。此時(shí),絕緣體表面附近有一空間電荷層,即離子鞘。
ps附著力促進(jìn)樹(shù)脂