此次，PFC蝕刻設(shè)備中國(guó)參加了ITER，并分享了部分項(xiàng)目進(jìn)行研究。未來(lái)有很多事情要做。我國(guó)相關(guān)領(lǐng)域的科學(xué)家要提前研究，爭(zhēng)取早日在我國(guó)建成示范性聚變反應(yīng)堆和商業(yè)化聚變反應(yīng)堆。限制聚變反應(yīng)堆研究的關(guān)鍵問(wèn)題之一是第一種面向高溫等離子體的壁結(jié)構(gòu)材料，即面向等離子體的材料 (PFM)。 PFM是指第一壁和偏濾器的裝甲材料，是磁場(chǎng)約束控制的熱核聚變反應(yīng)堆直接面向等離子體的限制器。

在許多工作中，PFC蝕刻設(shè)備CFC 用于從材料中去除碳?xì)溆?、油脂和其他污染物，而不?huì)造成損壞或殘留。然而，一些氯氟烴會(huì)吸收大氣中的紫外線，然后分解，釋放出氟原子，破壞地球大氣中的臭氧層，保護(hù)地球免受太陽(yáng)紫外線的傷害。另一種清潔劑全氟化碳 (PFC) 可以在平流層中保留 5,000 年。由于它們的長(zhǎng)壽命和低振動(dòng)模式能量，這些氣體比二氧化碳對(duì)全球變暖的貢獻(xiàn)更大。

功能三：等離子表面涂層（電鍍）等離子表面處理機(jī)用于對(duì)表面、涂層、UV涂層或片狀材料進(jìn)行特定的物理和化學(xué)改性，PFC蝕刻設(shè)備并將其用于各種涂層材料上，以促進(jìn)其附著力和表面。應(yīng)用時(shí)會(huì)得到改善。功能四：等離子表面蝕刻-POM、PTFE、PEP、PFA -聚四氟乙烯零件-構(gòu)建基于硅的結(jié)構(gòu)-光刻膠灰化。

可根據(jù)客戶需求定制各種間歇噴射等離子束，PFC蝕刻設(shè)備等離子束隨著產(chǎn)品通過(guò)而自動(dòng)噴射。通過(guò)節(jié)能、環(huán)保、高效。等離子表面處理機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)： 1）我們采用PFC全橋數(shù)字等離子電源，輸出穩(wěn)定，抗干擾能力強(qiáng)，響應(yīng)速度快。 2) 可以使用各種類型的等離子噴槍和噴嘴。根據(jù)各種用途選擇。支持各種產(chǎn)品和加工環(huán)境時(shí)。 3）設(shè)備體積小，便于攜帶和移動(dòng)，節(jié)省客戶空間。 4) 可以安裝在客戶的設(shè)備制造中。

PFC蝕刻

1958年，美國(guó)IB Bernstein提出分析宏觀不穩(wěn)定性的能量原理。 D. Pfelsch (1962) 在德意志聯(lián)邦共和國(guó)首先研究了圓形磁場(chǎng)中等離子體的傳輸系數(shù)。他給出了較密集地區(qū)的擴(kuò)散系數(shù)，蘇聯(lián)的丈夫AAGaleye，等等。1967年開(kāi)發(fā)了低密度區(qū)的擴(kuò)散系統(tǒng)，該理論適用于托卡馬克等循環(huán)磁約束等離子體的輸運(yùn)過(guò)程，被命名為新古典理論。

等離子具有很高的粘合強(qiáng)度，可以達(dá)到酚醛膠的效果，它是在某些情況下，對(duì)材料進(jìn)行加工，低成本的脲醛膠粘劑可以替代酚醛膠粘劑，從而節(jié)約成本。 （1）單板等離子處理制成的膠合板與空白板相比，膠合板的粘合強(qiáng)度有所提高。對(duì)于三種粘合劑，相同的工作氣體增加是UF> PUF> PF。

等離子表面處理機(jī)的蝕刻應(yīng)用： ? 耐光灰化、去除/耐光? 硅片結(jié)構(gòu)? 提高耐高溫塑料（PTFE、POM、PA、PFA、FEP、PEEK））的附著力 ? 在印刷、噴漆、涂膠等之前清潔金屬工件。 ? 在粘合、印刷、噴漆、注射等之前激活塑料和彈性體。

PFM的主要作用是有效控制進(jìn)入等離子體的雜質(zhì)，有效去除輻射到材料表面的熱功率，以及其他元件在異常停機(jī)時(shí)受到等離子體沖擊造成的損壞，起到保護(hù)作用。同時(shí)，面向等離子的材料必須與反應(yīng)堆的使用壽命、可靠性和維護(hù)性相一致。因此，等離子材料面臨的一般要求是耐高溫、低濺射、低氫（氚）保留以及與結(jié)構(gòu)材料的相容性。碳基材料和鎢是最有前途的PsFM 候選材料。對(duì)于 PFM，有兩個(gè)問(wèn)題需要解決。

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（2）包銀膠前等離子清洗：工件的表面粗糙度和親水性大大提高，PFC蝕刻設(shè)備不僅可以涂銀膠，還可以節(jié)省大量的膠水，降低成本。..壓焊前清潔：清潔焊盤(pán)，改善焊接制造條件，提高焊絲可靠性和良率。 (3)塑料封口：提高封口塑料與產(chǎn)品粘合的可靠性，降低脫層風(fēng)險(xiǎn)。 BGA、PFC 板等離子清洗：在放置焊盤(pán)之前對(duì)板上的等離子進(jìn)行表面處理。這可以清潔、粗糙化和恢復(fù)焊盤(pán)表面，顯著提高焊接制造的成功率。