對(duì)于 NiO / Y-對(duì)于Al2O3,外延片plasma清潔設(shè)備CO2轉(zhuǎn)化率高,除了系統(tǒng)中C和O的結(jié)合,CO2的產(chǎn)率高。當(dāng)CHx自由基吸附在其表面時(shí)形成CO2的催化劑這也是一個(gè)更重要的原因。在相同的實(shí)驗(yàn)條件下,研究了 NiO 負(fù)載對(duì)兩種烴和 CO 產(chǎn)率的影響。隨著 NiO 負(fù)載量的增加,C2 烴的產(chǎn)率降低,CO 的產(chǎn)率增加。
這個(gè)過程,外延片plasma清潔設(shè)備例如將一個(gè)氮分子分裂成兩個(gè)氮原子,稱為氣體分子分離。當(dāng)溫度再次升高時(shí),原子中的電子從原子中剝離成帶正電的原子核和帶電電子。這是一個(gè)稱為原子電離的過程。發(fā)生電離過程并形成等離子體。等離子體:等離子體,也稱為等離子體,是一個(gè)原子和一組被剝奪電子的原子的一部分。宏觀電中性電離氣體是電離后產(chǎn)生的正負(fù)離子的電離氣態(tài)物質(zhì),德拜長度較長,主要靠電磁力運(yùn)動(dòng),表現(xiàn)出顯著的集體行為。
此外,外延片plasma清潔設(shè)備極性基團(tuán)的增加和活性物質(zhì)的暴露也增加了材料表面載流子的數(shù)量,從而提高了材料的表面導(dǎo)電性。未經(jīng)低溫等離子體表面處理的兩層薄膜只是簡(jiǎn)單的物理疊加,層間PI分子很難形成交聯(lián)或交聯(lián),因此不可能形成電荷轉(zhuǎn)移通道。這會(huì)將肖特基或場(chǎng)發(fā)射注入薄膜。內(nèi)部電子傾向于在一層薄膜中積累,使其難以到達(dá)第二層。此外,層間界面的低導(dǎo)電性惡化。電荷積累會(huì)導(dǎo)致電場(chǎng)畸變,進(jìn)而對(duì)薄膜造成絕緣損壞。
當(dāng)向氣體施加足夠的能量以使其電離時(shí),外延片plasma清潔設(shè)備它就會(huì)變成等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、反應(yīng)基團(tuán)、激發(fā)核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔劑利用這些活性成分的特性對(duì)樣品表面進(jìn)行處理,以達(dá)到清潔等目的。 & EMSP; & EMSP; 等離子體是一種物質(zhì)狀態(tài),與固體、液體和氣體一樣,也稱為物質(zhì)的第四態(tài)。當(dāng)向氣體施加足夠的能量以使其電離時(shí),它就會(huì)變成等離子體狀態(tài)。
外延片plasma去膠設(shè)備
此時(shí),真空泵正在排出真空室內(nèi)的空氣(此時(shí)等離子清洗機(jī)處于關(guān)閉狀態(tài))。 C。大約 5 分鐘后,等離子室會(huì)慢慢發(fā)光。 A. 排空真空室中的空氣 A. 將樣品放入真空室; B.關(guān)閉三通閥(箭頭向下);C.保持洗衣機(jī)門靠近真空室; D.打開真空泵電源開關(guān),稍等片刻排出機(jī)艙空氣,關(guān)閉洗衣機(jī)門。 B、排氣 A、打開三通閥接觸室內(nèi)空氣(杠桿指的是針閥的針閥)。 B.輕輕打開針閥,讓空氣進(jìn)入清洗機(jī)房。 (必須先關(guān)閉針閥)。
外延片plasma去膠設(shè)備