同時，CCPplasma清洗C2H6 本身與高能電子之間的非彈性碰撞很可能導(dǎo)致其 CC 鍵斷裂，從而形成中間基網(wǎng)格，作為 CH4 形成的基礎(chǔ)。因此，與等離子等離子體下的純 C2H6 脫氫相比，C2H6 的轉(zhuǎn)化率和 C2H2、C2H4 和 CH4 的產(chǎn)率隨著 H2 濃度的增加而顯著增加。將 H2 施加到 C2H6 的力的優(yōu)點之一是它抑制了碳沉積物的形成。

CF4：藍(lán)色 SF6：淺藍(lán)色 SiF4：淺藍(lán)色 SiCl4：淺藍(lán)色 Cl2：淺綠色 CCl4：淺綠色 H2：粉紅色 O2：淺黃色 N2：紅色至黃色 Br2：紅色 He：紅色至紫色 Ne：紅磚 Ar：深色red 即維護 與施加的真空度、施加的功率、激發(fā)頻率、電極結(jié)構(gòu)、氣體種類等環(huán)境有關(guān)。 ..等離子清洗機中各種氣體的清洗效果等離子清洗機中各種氣體的清洗效果是由于等離子清洗工藝的材料和要求的不同。

表 3.9 不同刻蝕機側(cè)面形貌和寬度的差異 WaferCDBottom-CDMiddle / nmICP EtcherCCP Etcher10.9220.52.530.31.7412.4512.260.60.3Average0.71.6 除了均勻性，CCPplasma清洗機器top 在等離子清洗設(shè)備的側(cè)壁刻蝕工藝中。損耗也是側(cè)壁蝕刻的一個重要參數(shù)。低頂部高度損失會影響多晶硅柵極的金屬化厚度并增加金屬柵極的電阻。

一般來說，CCPplasma清洗鍺蝕刻具有高縱橫比和多層結(jié)構(gòu)。在蝕刻過程中需要許多方法來保持良好的圖案轉(zhuǎn)移?；诼龋?00W，200sccm，ER ~ 200?/s）的蝕刻不會損壞邊界界面（側(cè)邊界網(wǎng)格保持完整）。這對于高性能設(shè)備非常重要，并且可以避免損壞電網(wǎng)的后續(xù)修復(fù)。雖然蝕刻本身難度較大，但事實證明，側(cè)壁圖案的控制不足，無法獲得約 75° 的圖案角度，難以滿足實際需要。

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等離子表面處理器的電源整流器不需要VCC來提供電路轉(zhuǎn)換所需的瞬態(tài)電流，電容相當(dāng)于一個小電源。因此，電源和接地端的寄生電感被繞過。沒有感應(yīng)電壓，因為寄生電感在一段時間內(nèi)不流動。通常將兩個或多個電容器并聯(lián)，以降低電容器本身的串聯(lián)電感，降低電容器充/放電電路的阻抗。注：電容器放置、設(shè)備間距、設(shè)備方式、電容器選擇等離子表面處理設(shè)備的作用1、工作原理概述：在表面獲得等離子處理活性基團，產(chǎn)生高能混沌等離子體。

環(huán)保，具有綠色環(huán)保的特點。成本低：設(shè)備簡單，操作維護方便，可連續(xù)運行。因此，采用等離子體高分子材料改性技術(shù)可以克服常規(guī)方法使用的不足，使高分子材料的表面處理更符合環(huán)保原則。等離子體中富含離子、電子和紫外光子等活性粒子。在等離子體表面處理過程中，這些反應(yīng)性粒子與 PET 表面的分子碰撞，破壞表面化學(xué)鍵（CC、CH 和 CO）形成自由基。

等離子體的能量足以去除各種污染物，而氧離子可以將有機污染物氧化成二氧化碳和蒸汽，可以從機艙內(nèi)排出。等離子清洗不需要任何其他原料，使用方便，無污染，只要空氣符合要求。同時，等離子不僅可以清洗表面，而且比超聲波清洗有很多優(yōu)點。 , 但更重要的是，它可以提高表面活性。等離子體與物體表面之間的化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生活性化學(xué)基團。這些化學(xué)基團具有高活性，具有廣泛的應(yīng)用，例如提高材料的表面附著力、提高焊接能力、粘合性和親水性。

5.大氣等離子清洗技術(shù)基礎(chǔ)理論研究大氣等離子清洗技術(shù)基礎(chǔ)理論研究包括表面技術(shù)研究、大氣等離子清洗基礎(chǔ)理論研究、涂層結(jié)合機理和涂層結(jié)構(gòu)研究、噴涂粉末顆粒溫度和速度測試等。 , 涂料性能科學(xué)研究等綜上所述，大氣壓等離子清洗技術(shù)的發(fā)展可從五個方面進行闡述。你可以和你的朋友聊天。如有問題需要討論，請積極咨詢小編。。五個方面涵蓋了等離子發(fā)生器在車輛組件上的應(yīng)用。五個方面涵蓋了等離子發(fā)生器在車輛總成中的應(yīng)用： 1。

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多種塑料制品包括涂裝前回春清洗、粘著前回春清洗、標(biāo)簽前打碼前貼清洗活化等。等離子清洗作為傳統(tǒng)清洗方式的替代，CCPplasma清洗顯著提高了生產(chǎn)效率，提高了產(chǎn)品的清洗效果。穩(wěn)定性和均勻性。預(yù)涂膠鞋：作為一般消費者，在購買鞋子的時候，經(jīng)常會遇到穿上一段時間后開膠的現(xiàn)象。那么脫膠現(xiàn)象呢？我該如何處理我的鞋子脫膠？很多朋友會認(rèn)為鞋子是假的實際上，品牌產(chǎn)品有多種原因，但作為制造商，這實際上是一種痛苦。