從能給人類帶來無限清潔力量的可控聚變，薄膜表面電暈處理機(jī)到色彩斑斕的日光燈，以及芯片制造業(yè)不可或缺的刻蝕機(jī)……電暈技藝經(jīng)過幾十年的發(fā)展，其奇特的“魔力”越來越驚人，但我國(guó)在電暈產(chǎn)業(yè)應(yīng)用方面仍缺乏熱度。電暈是物質(zhì)的第四種狀態(tài)，不同于固體、液體和氣體。物質(zhì)由分子組成，分子由原子組成，原子由帶正電荷的原子核和周圍帶負(fù)電荷的電子組成。

但從環(huán)境影響、原料消耗和未來發(fā)展來看，塑料薄膜表面電暈處理機(jī)干洗明顯優(yōu)于濕洗。電暈清洗發(fā)展迅速，在干洗方面優(yōu)勢(shì)明顯。電暈清洗逐漸廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、微電子封裝、精密機(jī)械等行業(yè)。2.電暈的機(jī)理電暈是一種部分電離的氣體，是固體、液體和氣體之外的第四種物質(zhì)狀態(tài)。電暈由電子、離子、自由基、光子和其他中性粒子組成。由于電暈中電子、離子、自由基等活性離子的存在，容易與固體表面發(fā)生反應(yīng)。

這些顆粒極易與產(chǎn)品表面的污染物發(fā)生反應(yīng)，塑料薄膜表面電暈處理機(jī)最終形成二氧化碳和水蒸氣排出，以增加表面粗糙度，清潔表面。真空電暈經(jīng)過清洗反應(yīng)后，會(huì)與材料表面的污染物發(fā)生反應(yīng)，形成細(xì)小顆?；蛩肿印＿@些物質(zhì)必須在第一時(shí)間排出，以免對(duì)物料表面造成二次污染。電暈可以形成自由基清除產(chǎn)品表面的有機(jī)污染物，活化產(chǎn)品表面，旨在提高產(chǎn)品的附著力和表面附著力的可靠性和耐久性。

隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，薄膜表面電暈處理機(jī)由于其固有的局限性，濕法刻蝕逐漸限制了其發(fā)展，因?yàn)樗呀?jīng)不能滿足微米甚至納米級(jí)微細(xì)導(dǎo)線的超大規(guī)模集成電路的加工要求。晶圓電暈刻蝕機(jī)干法刻蝕因其離子密度高、刻蝕均勻、表面光潔度高等優(yōu)點(diǎn)，在半導(dǎo)體加工工藝中得到了廣泛的應(yīng)用。電暈刻蝕機(jī)是一種多功能的電暈設(shè)備，可配置不同部件，如表面電鍍、刻蝕、電暈化學(xué)反應(yīng)、粉末電暈處理等。電暈刻蝕機(jī)對(duì)晶圓具有良好的刻蝕效果。

薄膜表面電暈處理機(jī)

通常情況下，物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在某些特殊情況下，還存在第四種狀態(tài)，比如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。處于電暈狀態(tài)的物質(zhì)有以下幾種：高速運(yùn)動(dòng)的電子；處于活化狀態(tài)的中性原子、分子和原子團(tuán)（自由基）；電離原子和分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)作為一個(gè)整體保持電中性。電暈的機(jī)理主要取決于電暈中活性粒子的&ldquo；激活&rdquo；達(dá)到去除物體表面污漬的目的。

塑料薄膜表面電暈處理機(jī)