氣體被激發(fā)成等離子態(tài);重粒子撞擊固體表面;電子和活性基團與固體表面發(fā)生反應，附著力最強的金屬材料分解成新的氣相材料并離開固體表面。
等離子清洗機主要適用于各種材料的表面改性。表面清洗、表面活化、表面蝕刻、表面接枝、表面沉積、表面聚合、等離子輔助化學氣相沉積等。
當產(chǎn)生的電子在電場中加速時，附著力最強的涂料是什么可以獲得高能量，與周圍的分子或原子發(fā)生碰撞，使分子和原子再次被電子激發(fā)，處于激發(fā)態(tài)或離子態(tài)。此時物質(zhì)的存在狀態(tài)是等離子體狀態(tài)。等離子體中除了氣體分子、離子和電子外，還有電中性原子或原子團，它們受到等離子體發(fā)出的能量（也叫自由基）和光的激發(fā)，其中波的長度和能量對等離子體與材料表面相互作用起著重要作用。在等離子體清洗過程中，氮氣被用作非活性氣體，主要是作為非反應性氣體。
(3)當在真空電極和接地裝置之間施加高頻電壓時，附著力最強的涂料是什么氣體分解，通過光放電產(chǎn)生離子，形成等離子體。真空形成的等離子體完全覆蓋處理過的工件并逐漸啟動清潔操作。清潔通常持續(xù)幾十秒到幾分鐘。 (4)等離子表面處理裝置清洗后，切斷高頻電壓，排出氣體和汽化污垢，將空氣吹成真空，將氣壓升至大氣壓。等離子表面處理設備的優(yōu)點如下： (1)等離子清洗后，清洗后的物體已經(jīng)很干燥，無需干燥即可送入下一道工序。
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